公开(公告)号：CN212695121U

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202020630596.4

申请日：2020-04-23

Applicant: 海太半导体(无锡)有限公司

Inventor： 张伟 ,  孔杰 ,  王燕军 ,  刘星 ,  施伟峰 ,  黄春桃 ,  位冬冬 ,  常成建 ,  边毅 ,  刘洪岭 ,  周韩瑞 ,  程蛟 ,  刘许明 ,  鲍月胜 ,  朱凯 ,  曹亚兵 ,  赵尚尚 ,  关饷 ,  张庆松 ,  张华明 ,  汪庆喜 ,  尤晓 ,  廖志远 ,  吴辉云 ,  陈亮 ,  何伟

IPC: H01L21/66

Abstract: 本实用新型提供一种晶圆移动轨道传感器感应系统，包括传感器，时间继电器，电磁阀和流量计；其特征在于，所述传感器位于设备前段，所述传感器的信号输出端与时间继电器相连，所述时间继电器的输出端与电磁阀相连，所述电磁阀通过管道与流量计相连；本实用新型通过进料位置的传感器的感应，和新增的设备时间继电器的衔接，可以检测空焊资材在移动的整个过程中清除情况，清除的能力由流量的实时监控进行体现，最后通过视觉系统的及时探测和反馈异常资材发生。