公开(公告)号：CN112071962A

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN202010774402.2

申请日：2020-08-04

Applicant: 清华大学无锡应用技术研究院

Inventor： 徐宏 ,  龚桦 ,  周德金 ,  黄伟 ,  吴超 ,  于理科 ,  夏泳

IPC: H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，所述调节机构包括冷却液存储箱、液泵和加热管，所述液泵的输入端固定连接有输入管，所述输入管的一端与冷却液存储箱的一侧固定连接，本发明涉及LED芯片制作技术领域。该在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，利用液泵将冷却液存储箱产生的冷环境向喷头处传递，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的低温环境，利用加热管产生的高温使得加工箱体内部产生高温环境，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的高温环境，结构简单，成本低，方便快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的温度条件的问题。

公开(公告)号：CN112071962B

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN202010774402.2

申请日：2020-08-04

Applicant: 清华大学无锡应用技术研究院

Inventor： 徐宏 ,  龚桦 ,  周德金 ,  黄伟 ,  吴超 ,  于理科 ,  夏泳

IPC: H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括加工箱体，加工箱体内壁的底部固定连接有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有加工台，所述加工台上设置有夹紧机构，所述加工箱体内壁之间的上方固定连接有固定板，所述加工箱体的内部设置有调节机构（6）；该加工装置利用加热管产生的高温使得加工箱体内部产生高温环境，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的高温环境，结构简单，成本低，方便快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的温度条件的问题。