公开(公告)号：CN110440688A

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201910654027.5

申请日：2019-07-19

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 李星辉 ,  施亚平 ,  周倩 ,  倪凯 ,  王晓浩

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明公开了一种绝对式光栅尺参考位置测量方法，包括：在测量光栅中设置增量码道、零位编码，并在读数头中设置参考位置测量单元、增量位移测量单元；对所述零位编码进行距离编码设计，根据相邻零位编码之间的距离对照编码距离可以得到所述零位编码的绝对位置信息；利用所述参考位置测量单元检测零位脉冲信号；利用所述增量位移测量单元检测增量位移信号；所述参考位置测量单元包括第一分光棱镜、第二分光棱镜、掩膜板和第一探测器，所述第二分光棱镜设置于所述第一分光棱镜与所述掩膜板之间以减小零位脉冲信号衍射效应。本发明还公开了一种绝对式光栅尺参考位置测量系统。本发明可提升绝对光栅尺测量精度，使绝对式光栅尺测量精度达到其分辨力数量级，以适用于精密加工和检测领域精密测量环节。

公开(公告)号：CN110440688B

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN201910654027.5

申请日：2019-07-19

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 李星辉 ,  施亚平 ,  周倩 ,  倪凯 ,  王晓浩

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明公开了一种绝对式光栅尺参考位置测量方法，包括：在测量光栅中设置增量码道、零位编码，并在读数头中设置参考位置测量单元、增量位移测量单元；对所述零位编码进行距离编码设计，根据相邻零位编码之间的距离对照编码距离可以得到所述零位编码的绝对位置信息；利用所述参考位置测量单元检测零位脉冲信号；利用所述增量位移测量单元检测增量位移信号；所述参考位置测量单元包括第一分光棱镜、第二分光棱镜、掩膜板和第一探测器，所述第二分光棱镜设置于所述第一分光棱镜与所述掩膜板之间以减小零位脉冲信号衍射效应。本发明还公开了一种绝对式光栅尺参考位置测量系统。本发明可提升绝对光栅尺测量精度，使绝对式光栅尺测量精度达到其分辨力数量级，以适用于精密加工和检测领域精密测量环节。