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公开(公告)号：CN109163659B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN201811059690.2
申请日：2018-09-12
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明涉及精密测量领域，公开了一种检测系统、拼接系统、检测方法、拼接方法与拼接光栅尺，检测系统包括支撑平台，支撑平台用于放置待检测的光栅，并可供光栅相对支撑平台移动；检测光源，检测光源用于向光栅射出第一光束，第一光束经光栅形成至少两道第二光束；接收装置，第二光束可分别在接收装置上形成光斑；观测装置，观测装置用于记录各光斑的位置。本发明通过检测光源向待测光栅施加第一检测光束，第一检测光束经光栅作用后形成至少两条第二光束，第二光束在接收装置形成光斑，记录并比较不同光栅形成的光斑便可以实现光栅姿态的检测。本发明具有结构简单、易于操作等优点。
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公开(公告)号：CN110568720B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN201910798261.5
申请日：2019-08-27
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种微偏振片模板的制作方法，包括：S1：在基底一侧的表面设置第一光刻胶层；S2：制作掩膜版；S3：利用所述掩膜版对所述第一光刻胶层进行接触曝光；S4：在所述第一光刻胶层远离所述基底的一侧的表面涂覆第二光刻胶层；S5：利用全息光刻对所述第二光刻胶层进行曝光并显影；S6：在所述第二光刻胶层远离所述底板一侧表面上沉积金属层；S7：将所述第一光刻胶层、所述第二光刻胶层剥离，得到所述微偏振片模板。本发明公开的微偏振片模板的制作方法避免了电子束直写曝光制作周期长且设备使用费昂贵问题。
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公开(公告)号：CN108151658B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN201810069463.1
申请日：2018-01-24
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种判断光栅尺参考点绝对位置的装置及方法，该装置包括光源、分束镜、参考点掩膜、参考点编码带、光电探测器和信号处理计算机，参考点掩膜包括多个宽度相等的第一矩形块，多个第一矩形块沿其自身的宽度方向等间距排列；参考点编码带包括多组参考点组，每组参考点组包括两个参考点编码区，每个参考点编码区包括多个宽度相等的第二矩形块，多个第二矩形块沿其自身的宽度方向等间距排列，两个参考点编码区沿着第二矩形块的宽度方向间隔排列，多组参考点组沿着第二矩形块的宽度方向等间距排列，第一矩形块和第二矩形块均能够吸收或反射光线。本发明避免了光栅尺增量位移误差和参考点检测误差的干扰，提高了参考点绝对位置判断的可靠性。
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公开(公告)号：CN108801155B
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201810791500.X
申请日：2018-07-18
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种光谱编码距离传感器系统，包括白光光源、第一导光光纤、第二导光光纤、第一分光棱镜、第二分光棱镜、滤光通道和光谱仪，以一条假想的竖直向下的直线为所述光谱编码距离传感器系统的中心，所述白光光源、所述第一导光光纤和所述第一分光棱镜位于所述直线的一侧，所述第二分光棱镜、所述滤光通道、所述第二导光光纤和所述光谱仪位于所述直线的另一侧，且所述第一分光棱镜和所述第二分光棱镜关于所述直线对称，所述第一导光光纤和所述滤光通道均平行于所述直线。本发明具有结构紧凑、测量精度高、量程大、测量适应性好等优点，可以广泛地满足工业现场对距离测量传感器的要求。
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公开(公告)号：CN108534710B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201810443974.5
申请日：2018-05-10
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种单线激光的三维轮廓扫描装置及方法，该装置包括：线激光器，相对于被测物体的平移表面发射测量用的线激光；扫描角度调节装置，调节所述线激光器相对于被测物体的平移表面的角度，以用两种以上不同的扫描角度发射测量用的线激光；运动平移装置，与所述线激光器相配合，带着被测物体进行平移运动，来完成线激光扫描过程；图像采集装置，对被测物体的线激光扫描图像进行图像采集；控制与数据处理装置，控制所述运动平移装置进行运动，并控制所述图像采集装置采集被测物体的线激光扫描图像，接收所述线激光扫描图像并对其进行处理，得到实际物体的三维轮廓信息。该三维轮廓扫描装置尤其能够针对复杂、光滑金属表面进行高精度的三维轮廓扫描。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107220665B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201710352884.0
申请日：2017-05-18
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G06K9/62
Abstract: 本发明公开了一种图像插值方法，包括将定义在M维网格上的待插值的散点集合进行分解，形成若干个点集；将若干个点集分别进行扩大，得到若干个扩大点集；在若干个扩大点集上进行基于径向基函数的散点插值，得到插值函数；获得相对于M维网格更为稀疏的稀疏网格，计算每个稀疏网格上的网格点到其所属的一个或多个扩大点集的中心的权函数值，并以该权函数值来分配各个网格点由径向基函数计算出来的插值结果；通过获得的每个稀疏网格上的插值结果来求得M维网格上的所有网格点的插值结果，得到整个包络面。本发明还公开了一种二维经验模态分解方法，该图像插值方法不仅具有较快的计算速度，而且应用在二维经验模态分解方法中还有较好的分解质量。
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公开(公告)号：CN110196026A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201910569990.3
申请日：2019-06-27
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了快速测算表面粗糙度与测量尺度关系的方法，包括：S1、在测量尺度L0下获得样品的高度信息矩阵H0；对矩阵H0分割，得到不同尺度Li下的高度信息矩阵Hi；对矩阵H0、Hi进行最小二乘拟合，再分别用拟合前矩阵减去拟合后矩阵得到不同尺度下的目标高度信息矩阵，计算目标高度信息矩阵的均方差或算术平均获得不同尺度下的粗糙度，画出粗糙度-测量尺度关系曲线A，截取A的线性区域 并从中选取任一尺度L0′重复前述步骤得到关系曲线B，关系曲线B的线性区域为[L0′*,L0′]；当A和B在区间 内满足预设的重合条件时关系曲线A为目标关系模型，对于其线性区间 内的任意尺度可以根据该模型快速得到粗糙度值。
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公开(公告)号：CN109975311A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910277133.6
申请日：2019-04-08
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种轮转式多环境AOI检测装置和方法，该装置包括多个屏幕检测工位、检测光源、屏幕移动装置、图像采集装置和数据处理装置，每个屏幕检测工位经配置具有适应于检测特定的屏幕缺陷类型的不同检测环境，屏幕移动装置将被测屏幕同步地移动到各屏幕检测工位，图像采集装置对被测屏幕在各自当前的屏幕检测工位进行全工位图像采集，使得每一图像均包含分别对应不同屏幕检测工位的多个图像区域，每进行完一次图像采集之后，屏幕移动装置将被测屏幕移动到各自的下一屏幕检测工位，图像采集装置重新进行下一轮多检测环境下的图像采集，直至被测屏幕遍历不同检测环境的检测。本发明大大提高了图像采集区利用率，且降低了对图像采集环境的要求。
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公开(公告)号：CN109283105A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811172294.0
申请日：2018-10-09
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01N15/04
Abstract: 本发明公开了一种颗粒物沉降质量测量装置及其沉降效率检测方法。包括用于电离空气的电离模块和用于测量的测量模块。电离模块包括电离区域和高压放电针，测量模块包括带电的石英晶片和滤膜，还包括测量石英晶片谐振频率的频率测量装置和测量滤膜中颗粒物质量的质量检测装置。电离模块与测量模块连接，使颗粒物电离后能附着于用作集尘极的石英晶片中，并利用采集的数据计算出沉降效率，为最佳电极参数的确定提供了数据基础。
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公开(公告)号：CN108709505A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810764638.0
申请日：2018-07-12
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开一种大量程干涉式光栅尺及其测距方法，包括光栅阵列和双读数头系统，光栅阵列由多个光栅单元拼接而成，双读数头系统包括一激光器、一分光器、两个读数头及数据处理单元；激光器用于发出一激光束，分光器用于对激光束进行分光，以得到用于投射到光栅阵列的第一激光束和第二激光束；两个读数头分别获取对应于第一激光束和第二激光束的实时位移读数；数据处理单元用于对两个读数头的实时位移读数进行数据处理，获得实际位移；其中，所述数据处理包括：根据单读数头各自的实时位移读数以及光栅单元之间的间距，进行间距补偿和读数头状态判断；基于读数头所处的状态，利用单读数头的实时位移读数和间距补偿结果计算所述实际位移。
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