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公开(公告)号：CN109668512B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN201811571027.0
申请日：2018-12-21
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明涉及激光位移传感器技术领域，公开了一种对称布置的激光位移传感器的光束对准装置及对准方法。本发明的对称布置的激光位移传感器的光束对准装置包括光屏，以及对称设于所述光屏两侧的一对二级角度放大装置、对称设于所述光屏两侧的一对一级对准小孔，其中，所述一级对准小孔、所述二级角度放大装置、所述光屏沿光束的传输方向依次设置，所述一级对准小孔与所述二级角度放大装置同心设置。本发明的对称布置的激光位移传感器的光束对准装置可以准确、快捷的对准激光位移传感器。
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公开(公告)号：CN109238153B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201811064599.X
申请日：2018-09-12
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质。本发明通过利用信号光频梳作为测量臂光路的光源，并利用本振光频梳与两组测量光脉冲进行多外差干涉，通过测量干涉信号的相位时延，计算出待测物体厚度，克服了传统迈克尔逊干涉仪存在的无法对待测表面之间的绝对距离进行测量的技术问题，实现了一种有利于高精度、高实时性的光学表面距离测量双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质。本发明可广泛应用于平行表面距离的测量。
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公开(公告)号：CN110440688B
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN201910654027.5
申请日：2019-07-19
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种绝对式光栅尺参考位置测量方法，包括：在测量光栅中设置增量码道、零位编码，并在读数头中设置参考位置测量单元、增量位移测量单元；对所述零位编码进行距离编码设计，根据相邻零位编码之间的距离对照编码距离可以得到所述零位编码的绝对位置信息；利用所述参考位置测量单元检测零位脉冲信号；利用所述增量位移测量单元检测增量位移信号；所述参考位置测量单元包括第一分光棱镜、第二分光棱镜、掩膜板和第一探测器，所述第二分光棱镜设置于所述第一分光棱镜与所述掩膜板之间以减小零位脉冲信号衍射效应。本发明还公开了一种绝对式光栅尺参考位置测量系统。本发明可提升绝对光栅尺测量精度，使绝对式光栅尺测量精度达到其分辨力数量级，以适用于精密加工和检测领域精密测量环节。
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公开(公告)号：CN110160515B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201910299404.8
申请日：2019-04-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01C19/72
Abstract: 本发明涉及一种角速度测量方法、测量系统及载体，角速度测量方法包括将第一测量光梳信号与第二测量光梳信号进行脉冲分离；合光光梳信号与第二光频梳信号进行多外差干涉并输出干涉信号，角速度测量系统包括第一光频梳发射器、第二光频梳发射器、第一分光器、测量光路及第四分光器，基于所述第一分光器延伸出一环形光路，第一分离光路与第二分离光路的光程不同，第四分光器接收第二光频梳信号及所述合光光梳信号并输出干涉信号，载体应用上述的角速度测量系统。通过采集该干涉信号并进行分析计算即可得到待测物的角速度，并且能够消除角速度的测量死区，增大角速度的测量范围，具有较高的测量精度及测量速度，实时性好，操作简便，实用性高。
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公开(公告)号：CN110568541A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910797065.6
申请日：2019-08-27
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G02B5/30
Abstract: 本发明公开了一种金属偏振片，所述金属偏振片包括基底、介质层和金属层；所述介质层设置于所述基底一侧的表面上，所述金属层设置于所述介质层远离所述金属层一侧的表面上；所述介质层包括介质薄层、光栅介质层；所述介质薄层厚度为0.04～0.06μm。本发明还提供一种金属偏振片的制作方法。本发明所提供的金属偏振片可在小范围改变透过率变化的基础上，大幅度增加消光比。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110160515A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910299404.8
申请日：2019-04-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01C19/72
Abstract: 本发明涉及一种角速度测量方法、测量系统及载体，角速度测量方法包括将第一测量光梳信号与第二测量光梳信号进行脉冲分离；合光光梳信号与第二光频梳信号进行多外差干涉并输出干涉信号，角速度测量系统包括第一光频梳发射器、第二光频梳发射器、第一分光器、测量光路及第四分光器，基于所述第一分光器延伸出一环形光路，第一分离光路与第二分离光路的光程不同，第四分光器接收第二光频梳信号及所述合光光梳信号并输出干涉信号，载体应用上述的角速度测量系统。通过采集该干涉信号并进行分析计算即可得到待测物的角速度，并且能够消除角速度的测量死区，增大角速度的测量范围，具有较高的测量精度及测量速度，实时性好，操作简便，实用性高。
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公开(公告)号：CN109668512A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811571027.0
申请日：2018-12-21
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明涉及激光位移传感器技术领域，公开了一种对称布置的激光位移传感器的光束对准装置及对准方法。本发明的对称布置的激光位移传感器的光束对准装置包括光屏，以及对称设于所述光屏两侧的一对二级角度放大装置、对称设于所述光屏两侧的一对一级对准小孔，其中，所述一级对准小孔、所述二级角度放大装置、所述光屏沿光束的传输方向依次设置，所述一级对准小孔与所述二级角度放大装置同心设置。本发明的对称布置的激光位移传感器的光束对准装置可以准确、快捷的对准激光位移传感器。
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公开(公告)号：CN106324613B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201610911927.X
申请日：2016-10-19
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01S17/66
Abstract: 一种用于飞秒激光跟踪仪的数据采集与处理系统及方法，该系统包括数据采集模块、所述数据处理模块以及采样时钟模块，所述数据采集模块用于对光电探测器输出的模拟电信号进行信号调理并转换为数字信号，所述数据采集模块输出的数字信号传送到所述数据处理模块，所述数据处理模块用于根据所述数字信号计算被测距离值，所述采样时钟模块用于向所述数据采集模块提供一个与飞秒激光跟踪仪中的参考光路脉冲激光频率梳相适应的输出相位可调节的时钟驱动。该系统能够实时处理飞秒激光跟踪仪光路系统输出的光学信号并实时、准确输出距离值。
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公开(公告)号：CN109351709A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811173023.7
申请日：2018-10-09
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明涉及大气颗粒物检测领域，公开了一种基于压电测量的晶体清洁装置与晶体清洁方法，晶体清洁装置包括用于引导气流向晶体的表面进行吹扫的流道；第一电极，以及可与晶体导电连接的第二电极；第一电极与第二电极之间可形成方向可变的电场。本发明可以在不拆除晶体的基础上，对晶体表面的颗粒物进行清除，操作简单，可以极大的节省人工成本，有助于压电晶体测量法的推广和应用。
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公开(公告)号：CN108801155A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810791500.X
申请日：2018-07-18
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种光谱编码距离传感器系统，包括白光光源、第一导光光纤、第二导光光纤、第一分光棱镜、第二分光棱镜、滤光通道和光谱仪，以一条假象的竖直向下的直线为所述光谱编码距离传感器系统的中心，所述白光光源、所述第一导光光纤和所述第一分光棱镜位于所述直线的一侧，所述第二分光棱镜、所述滤光通道、所述第二导光光纤和所述光谱仪位于所述直线的另一侧，且所述第一分光棱镜和所述第二分光棱镜关于所述直线对称，所述第一导光光纤和所述滤光通道均平行于所述直线。本发明具有结构紧凑、测量精度高、量程大、测量适应性好等优点，可以广泛地满足工业现场对距离测量传感器的要求。
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