公开(公告)号：CN206208930U

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201621197593.6

申请日：2016-11-07

Applicant: 湖北台基半导体股份有限公司

Inventor： 刘鹏 ,  汝严 ,  徐娇玉 ,  李娴 ,  肖彦 ,  任丽 ,  吕晨襄 ,  万小微

IPC: G01R1/04 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

Abstract: 本实用新型的名称是一种自对准功率半导体芯片测试夹具。属于功率半导体器件测试技术领域。它主要是解决现有测试操作过程繁琐、效率低、易造成芯片测试数据偏差和芯片外观划伤及损坏的问题。它的主要特征是：上夹具由阴极板、定位弹簧、导向套、阴极压块、阴极取样探头和中心门极取样探头组成；定位弹簧、阴极压块的上端固定在阴极板上，下端位于导向套内并与导向套固定连接；阴极取样探头和中心门极取样探头安装在阴极压块上；所述下夹具由承片盘和阳极取样探头组成；所述承片盘与导向套之间设有配合的芯片定位凹槽、定位凸台。本实用新型具有芯片对准更换方便、附加压降小、测试操作简单和使用效率高的特点，主要用于功率半导体器件芯片测试。