公开(公告)号：CN1922710A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200580005168.0

申请日：2005-02-16

Applicant: 滨松光子学株式会社

Inventor： 久嵨浩之 ,  下井英树 ,  影山明广 ,  井上圭祐 ,  伊藤益保

IPC: H01J43/24

CPC classification number: H01J43/08 ,  H01J9/26 ,  H01J43/04 ,  H01J43/24

Abstract: 本发明涉及一种实现高倍增效率的微细结构的光电子倍增器。该光电子倍增器包括内部维持真空的外围器，在该外围器内，配置有放射对应入射光的光电子的光电面，级联倍增从该光电面射出的光电子的电子倍增部，用于取出由该电子倍增部生成的二次电子的阳极。特别是，在电子倍增部，形成有用于级联倍增来自光电面的光电子的槽部，规定该槽部的一对壁部(311)的各表面上，设有在表面上形成有二次电子射出面的1个或1个以上的凸部(311a)。