公开(公告)号：CN116219365B

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202310248717.7

申请日：2023-03-15

Applicant: 烟台大学

Inventor： 任萍 ,  范云婷 ,  李亚 ,  马啸飞 ,  郁大良 ,  李奂宇

IPC: C23C14/18 ,  C23C14/35 ,  B82Y40/00

Abstract: 一种TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的制备方法，涉及一种TiVCrZrW基纳米复合涂层的制备方法。本发明的目的是通过磁控溅射生成自润滑的高熵陶瓷薄膜，进而改善TiVCrZrW基纳米涂层的摩擦学性能及耐腐蚀性能。本发明提供了一种TiVCrZrW基纳米复合涂层薄膜，通过引入硬质元素Si元素，形成了具有高硬度、高韧性、低摩擦和耐磨损的高熵陶瓷薄膜，并且实现了对TiVCrZrW基涂层微观结构的调控，提高了涂层的致密度，提高了所述涂层在模拟海水环境下的耐腐蚀性能，实现了TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的可控生长。

公开(公告)号：CN116219365A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202310248717.7

申请日：2023-03-15

Applicant: 烟台大学

Inventor： 范云婷 ,  任萍 ,  李亚 ,  马啸飞 ,  郁大良 ,  李奂宇

IPC: C23C14/18 ,  C23C14/35 ,  B82Y40/00

Abstract: 一种TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的制备方法，涉及一种TiVCrZrW基纳米复合涂层的制备方法。本发明的目的是通过磁控溅射生成自润滑的高熵陶瓷薄膜，进而改善TiVCrZrW基纳米涂层的摩擦学性能及耐腐蚀性能。本发明提供了一种TiVCrZrW基纳米复合涂层薄膜，通过引入硬质元素Si元素，形成了具有高硬度、高韧性、低摩擦和耐磨损的高熵陶瓷薄膜，并且实现了对TiVCrZrW基涂层微观结构的调控，提高了涂层的致密度，提高了所述涂层在模拟海水环境下的耐腐蚀性能，实现了TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的可控生长。