公开(公告)号：CN101488731B

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN200910001307.2

申请日：2009-01-04

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H3/04

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

公开(公告)号：CN102197592A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200980142077.X

申请日：2009-10-22

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  舟川刚夫 ,  山崎隆

IPC: H03H9/19 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H03B5/32 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/19 ,  H03H9/215

Abstract: 本发明抑制起因于热弹性效应的Q值劣化。第1槽部(15)的第1深度(d1)和第2槽部(16)的第2深度(d2)小于包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间的距离，因而第1槽部(15)和第2槽部(16)不会贯通包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间。并且，第1槽部(15)的第1深度(d1)与第2槽部(16)的第2深度(d2)之和大于第3面(13)与第4面(14)之间的距离，因而第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径不会形成为直线。这样，能够使第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径在第1槽部(15)和第2槽部(16)中迂回而变长。

公开(公告)号：CN101488731A

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200910001307.2

申请日：2009-01-04

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H3/04

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

公开(公告)号：CN102064790A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN201010597292.3

申请日：2009-01-04

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H9/10 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

公开(公告)号：CN101807897A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN201010115312.9

申请日：2010-02-11

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 ,  精工爱普生株式会社

Inventor： 石井昌宏 ,  舟川刚夫

IPC: H03H9/205

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0509 ,  H03H9/1021

Abstract: 本发明提供振动片和振子。利用振动片的正面和背面来配置配线，容易实现振动片的小型化。该振动片具有：下部电极(21，22，23)，其设置在振动臂(11，12，13)的在厚度方向上相对的第1面(16a)和第2面(16b)中的第1面(16a)上；压电膜(31，32，33)，其形成在下部电极(21，22，23)的上方；上部电极(51，52，53)，其形成在下部电极(21，22，23)和压电膜(31，32，33)的上方；配线(28，58)，其与下部电极(21，22，23)和上部电极(51，52，53)连接，与上部电极(51，52，53)连接的配线(58)以围住振动臂(11，12，13)的方式经由振动臂(11，12，13)的侧面被引出至振动臂(11，12，13)的第2面(16b)。

公开(公告)号：CN102006024A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010597294.2

申请日：2009-01-04

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H3/02

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。