氟气发生装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102286755A

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN201110276871.2

    申请日:2011-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种氟气发生装置,包括包括电解槽(1)、氢气脱HF器(2)、氟气净化管(3)、氟化氢原料罐(4)、氟化氢液化器(5)、直流电源(6),其中:在电解槽槽体(7)上设置有截面成半环形的两个加热夹套(16),夹套(16)设置循环水进水口(17)和出水口(18);电解槽阳极(9)与阳极导电杆(12)连接;阳极导电杆(12)是中空的,阳极导电杆(12)上开有氟气进口(29);阴极(10)为截面为矩形的圆环型,紧邻阴、阳极室隔断(8)的外部,通过阴极导电杆(13)固定在顶盖(20)上。本发明可以生产高纯度的氟气、可满足不同使用压力,结构简单,部件更换和维护方便,操作过程简单,价格便宜,可随开随用。

    一种制备电子级氢氟酸的方法

    公开(公告)号:CN102320573B

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201110276860.4

    申请日:2011-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种制备电子级氢氟酸的方法,包括;工业级HF原料的气化:从无水氟化氢贮槽引出气体氟化氢,除去其中的非挥发性和高沸点杂质;氟气氧化和脱轻组分;通过氟气氧化反应器把HF中的As3+氧化为As5+,S、P、B等元素形成的部分不挥发性成分氧化为挥发性成分,然后通过脱轻组分设备除去;高沸精馏,把HF中以HAsF6或盐MAsF6的形式存在As5+以及H2SO4、H3PO4、HSiF6、H2O和金属离子盐等高沸物,通过精馏除去;水洗精馏;把前面过程中没有除去的杂质进一步脱除。经过上述步骤后从水洗精馏塔顶馏出的HF溶于水就制得符合电子级产品质量要求的氢氟酸。本方法简单可靠,能使氢氟酸中的金属和非金属元素对应的杂质含量低于半导体设备和材料国际标准SEMI-2标准。

    氟气发生装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102286755B

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201110276871.2

    申请日:2011-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种氟气发生装置,包括包括电解槽(1)、氢气脱HF器(2)、氟气净化管(3)、氟化氢原料罐(4)、氟化氢液化器(5)、直流电源(6),其中:在电解槽槽体(7)上设置有截面成半环形的两个加热夹套(16),夹套(16)设置循环水进水口(17)和出水口(18);电解槽阳极(9)与阳极导电杆(12)连接;阳极导电杆(12)是中空的,阳极导电杆(12)上开有氟气进口(29);阴极(10)为截面为矩形的圆环型,紧邻阴、阳极室隔断(8)的外部,通过阴极导电杆(13)固定在顶盖(20)上。本发明可以生产高纯度的氟气、可满足不同使用压力,结构简单,部件更换和维护方便,操作过程简单,价格便宜,可随开随用。

    一种制备电子级氢氟酸的方法

    公开(公告)号:CN102320573A

    公开(公告)日:2012-01-18

    申请号:CN201110276860.4

    申请日:2011-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种制备电子级氢氟酸的方法,包括;工业级HF原料的气化:从无水氟化氢贮槽引出气体氟化氢,除去其中的非挥发性和高沸点杂质;氟气氧化和脱轻组分;通过氟气氧化反应器把HF中的As3+氧化为As5+,S、P、B等元素形成的部分不挥发性成分氧化为挥发性成分,然后通过脱轻组分设备除去;高沸精馏,把HF中以HAsF6或盐MAsF6的形式存在As5+以及H2SO4、H3PO4、HSiF6、H2O和金属离子盐等高沸物,通过精馏除去;水洗精馏;把前面过程中没有除去的杂质进一步脱除。经过上述步骤后从水洗精馏塔顶馏出的HF溶于水就制得符合电子级产品质量要求的氢氟酸。本方法简单可靠,能使氢氟酸中的金属和非金属元素对应的杂质含量低于半导体设备和材料国际标准SEMI-2标准。

    磷酸净化装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101927987B

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN200910102638.5

    申请日:2009-06-24

    Abstract: 本发明公开一种磷酸净化装置,包括萃取装置、洗涤装置及反萃装置,其中:萃取装置、反萃装置选用一组乳化机及分相设备构成的单级或由多组乳化机及分相设备组合而成的多级;洗涤装置选用一组混合器及分相设备构成的单级或由多组混合器及分相设备组合而成的多级。萃取装置一级溶剂进口与反萃装置末级分相设备的轻相出口连接,洗涤装置连续相流体入口与萃取装置末级分相设备的轻相出口连接,反萃装置一级溶剂进口与洗涤装置末级分相设备的轻相出口连接。本发明可以强化传质性能,提高净化效率,降低设备投资及运行费用,且占地面积小。

    肥料级磷酸制备高浓度磷酸的方法

    公开(公告)号:CN102583285A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210046797.X

    申请日:2012-02-28

    Abstract: 本发明公开了肥料级磷酸制备高浓度磷酸的方法,具体采用肥料级磷酸作为原料酸——沉降过滤——滤液——预处理脱氟——浓缩——产品磷酸,工艺简单,工艺条件不苛刻,容易控制。尽管原料酸H3PO4含量较低而杂质较多,但成本相应较低;让制备得到的高浓度磷酸,降低了生产成本,产品可以作为肥料添加剂或者作为生产高浓度肥料原料,也可代替正磷酸、多聚磷酸而广泛使用,生产具有更高附加值的产品。

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