金属蒸发发热体和金属的蒸发方法

    公开(公告)号:CN100487154C

    公开(公告)日:2009-05-13

    申请号:CN200480026296.9

    申请日:2004-11-16

    Abstract: 本发明提供可以改善对熔融金属的润湿性、实现长寿命化的金属蒸发舟皿和使用它的金属的蒸发方法。金属蒸发发热体,其特征在于,在含有二硼化钛(TiB2)和/或二硼化锆(ZrB2)以及氮化硼(BN)构成的陶瓷烧结体的上表面在不与通电方向平行的方向上具有1条或2条以上的沟。该情况下,较好是不与通电方向平行的方向相对于通电方向呈20~160度,陶瓷烧结体具有凹部,在其底面形成沟,在陶瓷烧结体的上表面和/或凹部的底面由多条沟构成所需的图案。此外,金属的蒸发方法,其特征在于,使用该金属蒸发发热体,在使其沟的一部分或全部与金属接触的状态下,于真空中加热。

    金属蒸发发热体和金属的蒸发方法

    公开(公告)号:CN1849407A

    公开(公告)日:2006-10-18

    申请号:CN200480026296.9

    申请日:2004-11-16

    Abstract: 本发明提供可以改善对熔融金属的润湿性、实现长寿命化的金属蒸发舟皿和使用它的金属的蒸发方法。金属蒸发发热体,其特征在于,在含有二硼化钛(TiB2)和/或二硼化锆(ZrB2)以及氮化硼(BN)构成的陶瓷烧结体的上表面在不与通电方向平行的方向上具有1条或2条以上的沟。该情况下,较好是不与通电方向平行的方向相对于通电方向呈20~160度,陶瓷烧结体具有凹部,在其底面形成沟,在陶瓷烧结体的上表面和/或凹部的底面由多条沟构成所需的图案。此外,金属的蒸发方法,其特征在于,使用该金属蒸发发热体,在使其沟的一部分或全部与金属接触的状态下,于真空中加热。

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