半导体传感器装置、包括这种装置的诊断仪器以及制造这种装置的方法

    公开(公告)号:CN101558290A

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200780045234.6

    申请日:2007-12-06

    CPC classification number: G01N21/4738 B82Y15/00 B82Y20/00 B82Y30/00

    Abstract: 用于感测物质(30)的半导体传感器装置(10),包括在半导体主体(12)的表面上形成的台面形状的半导体区(11,11’),而包括要被感测的物质(30)的流体(20)能够沿着台面形状的半导体区(11)流动,其中台面形状的半导体区(11)在纵向方向上观看时相继地包括第一半导体子区(1)、第二半导体子区(2)和第三子区(3),该第一半导体子区包括第一半导体材料,该第二半导体子区包括与第一半导体材料不同的第二半导体材料,该第三子区包括与第二半导体材料不同的第三半导体材料。根据本发明,第一和第三半导体材料包括光学钝态材料而第二半导体材料包括光学活性材料,要被感测的物质(30)能够改变来自第二子区(2)的电磁辐射(E)的特性并且半导体传感器装置(10)形成为使得其特性已被改变的电磁辐射(E)能够到达检测器(50)。根据本发明的传感器装置(10)能够很灵敏、相对紧凑且易于制造。该辐射(E)能够来自外部源(40)或者能够在装置(10)中生成。

    制造半导体传感器装置的方法和半导体传感器装置

    公开(公告)号:CN101506648A

    公开(公告)日:2009-08-12

    申请号:CN200780031465.1

    申请日:2007-08-21

    CPC classification number: G01N27/127

    Abstract: 一种制造用于感测物质的半导体传感器装置(10)的方法,所述半导体传感器装置包括多个相互平行的台形半导体区域(1),所述台形半导体区域(1)形成于半导体主体(11)的表面上并在第一端连接到第一导电连接区域(2)且在第二端连接到第二导电连接区域(3),同时包括待感测的物质的气体或液体能够在所述台形半导体区域(1)之间流动,且待感测的所述物质能够影响所述多个台形半导体区域(1)的电特性,其中在所述半导体主体(11)的表面形成第一连接区域(2)并形成第一端连接到所述第一连接区域(2)的多个台形半导体区域(1),接下来形成在所述多个台形半导体区域(1)的第二端连接到所述多个台形半导体区域(1)的第二连接区域(3)。根据本发明,在形成所述多个台形半导体区域(1)之后,用能够相对于所述多个台形半导体区域(1)和所述半导体传感器装置(10)的其他边界部分的材料选择性地去除的填充材料(4)来填充这些区域(1)之间的露出空间,接下来在所得到的结构上沉积导电层(30),由该导电层(30)形成所述第二连接区域(3),之后以选择性方式去除所述填充材料(4),由此使所述多个台形半导体区域(1)之间的空间再次露出。通过这种方式,利用容易在工业规模上应用的方法制造传感器装置(10),并获得高成品率。

    纳米线和电子器件
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100409450C

    公开(公告)日:2008-08-06

    申请号:CN03806886.9

    申请日:2003-03-27

    Abstract: 纳米线(10)包括第一区(1)、第二区(2)和第三区(3),其中第二区(2)的直径(c)大于第一和第三区(1,3)的直径(a),于是至少部分中断纳米线(10)的量子化并使第二区给定更小的带隙。在小于100nm、优选小于20nm的轴向上,第二区(2)具有长度(b)。在具有电极的(光)电器件中,可以采用纳米线(10)作为量子点、单电子晶体管等。

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