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公开(公告)号:CN102783009A
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN201180010060.6
申请日:2011-01-26
Applicant: 石川县 , 西格玛光机株式会社 , 日硬株式会社 , 国立大学法人东京工业大学
Inventor: 高野昌宏 , 广崎宪一 , 新谷隆二 , 吉田勇太 , 南川俊治 , 中野幸一 , 长田卓也 , 槙野翔 , 市村悟 , 吉田崇 , 石田真之 , 河合博司 , 泷本干夫 , 中村健太郎
IPC: H02N2/00
Abstract: 提供如下的全长较短且小形的压电致动器机构:适用于光学系统中的反射镜保持架的调整以及直线移动台的可动工作台的定位的自动操作,能够进行高精度的位置/角度调整、找位。本发明的压电致动器机构具有基于进给丝杠(11)和进给丝杠螺母(14)的丝杠进给机构;安装在该进给丝杠螺母(14)的后端面的圆盘形转子(17);具有与转子(17)的周面接触的压电振子(21)的超声波电动机(18);以及通过弹簧力被按压到进给丝杠(11)的前端、并且通过该进给丝杠的进给动作进行移位、找位的被动安装部,被动安装部例如是在光学系统中使用的反射镜保持架(1)或直线移动台(10)的可动工作台(21)。
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公开(公告)号:CN111033772B
公开(公告)日:2023-12-01
申请号:CN201880053991.6
申请日:2018-08-10
Applicant: 株式会社白山 , 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 , 石川县
IPC: H10N10/851 , C01B33/02 , H10N10/857 , H10N10/01 , C22C13/00
Abstract: 本发明提供一种热电材料(1),所述热电材料(1)具有:母相(10),以MgSiSn合金为主要成分;空孔(12),形成于母相(10)中;以及硅层,至少形成于空孔(12)的壁面且以硅为主要成分。热电材料(1)还具有1.0wt%以上且20.0wt%以下的MgO。硅层包含非晶Si或者包含非晶Si和纳米尺寸的Si结晶,母相(10)由MgSiSn合金的化学组成的Si的组成比率比其他区域高的区域以及Sn的组成比率比其他区域高的区域构成。热电材料阻率。(1)通过这样的结构来实现更低热导率且更低电
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公开(公告)号:CN111033772A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201880053991.6
申请日:2018-08-10
Applicant: 株式会社白山 , 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 , 石川县
Abstract: 本发明提供一种热电材料(1),所述热电材料(1)具有:母相(10),以MgSiSn合金为主要成分;空孔(12),形成于母相(10)中;以及硅层,至少形成于空孔(12)的壁面且以硅为主要成分。热电材料(1)还具有1.0wt%以上且20.0wt%以下的MgO。硅层包含非晶Si或者包含非晶Si和纳米尺寸的Si结晶,母相(10)由MgSiSn合金的化学组成的Si的组成比率比其他区域高的区域以及Sn的组成比率比其他区域高的区域构成。热电材料(1)通过这样的结构来实现更低热导率且更低电阻率。
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