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公开(公告)号：CN105051880A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480017857.2
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
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公开(公告)号：CN110632703B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201910763022.6
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
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公开(公告)号：CN110632703A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910763022.6
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
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公开(公告)号：CN105051880B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201480017857.2
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
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