-
公开(公告)号：CN105051877B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201480004823.X
申请日：2014-09-15
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 戴维·Y·王 , 克劳斯·伏罗克 , 劳伦斯·D·罗特 , 桑卡·克里许南 , 乔汉斯·D·迪·维尔 , 卡塔林·飞利浦 , 格雷戈里·布雷迪 , 穆沙米尔·阿蓝 , 安德烈·谢卡格罗瓦
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明揭示一种设备，所述设备包含：(i)亮光源，其用于提供处于可在从深紫外线波长到红外线波长的范围内选择的多个波长的照明光束；(ii)照明光学器件，其用于以可选择的入射角AOI或方位角AZ组及偏光状态将所述照明光束引导朝向样品以提供光谱椭圆偏光测量，其中所述照明光学器件包含用于控制处于所述可选择AOI/AZ组中的每一者的所述照明光束在所述样品上的光点大小的切趾器；(iii)收集光学器件，其用于将响应于处于所述可选择AOI/AZ组中的每一者及偏光状态的所述照明光束而来自所述样品的输出光束引导朝向基于所述输出光束产生输出信号或图像的检测器；及(iv)控制器，其用于基于所述输出信号或图像特征化所述样品的特征。
-
公开(公告)号：CN105051880A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480017857.2
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
-
公开(公告)号：CN103930749A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201280056445.0
申请日：2012-10-11
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01B11/04
CPC classification number: G01N21/211 , G01B11/0616 , G01N21/4738 , G01N21/55 , G01N2021/213 , G03F7/70608 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 本发明可包含：可调制照射源，其经配置以照射安置于样本载台上的样本的表面；检测器，其经配置以检测从所述样本的表面发出的照射；照射光学器件，其经配置以将来自所述可调制照射源的照射引导到所述样本的所述表面；收集光学器件，其经配置以将来自所述样本的所述表面的照射引导到所述检测器；及调制控制系统，其通信地耦合到所述可调制照射源，其中所述调制控制系统经配置而以适于产生具有选定相干特征长度的照射的选定调制频率调制所述可调制照射源的驱动电流。另外，本发明包含多个光源的输出的时间循序交错以产生供在多波长时间循序光学计量中使用的周期性脉冲串。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110632703B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201910763022.6
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
-
公开(公告)号：CN110632703A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910763022.6
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
-
公开(公告)号：CN105051880B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201480017857.2
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
-
公开(公告)号：CN103930749B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201280056445.0
申请日：2012-10-11
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01B11/04
CPC classification number: G01N21/211 , G01B11/0616 , G01N21/4738 , G01N21/55 , G01N2021/213 , G03F7/70608 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 本发明可包含：可调制照射源，其经配置以照射安置于样本载台上的样本的表面；检测器，其经配置以检测从所述样本的表面发出的照射；照射光学器件，其经配置以将来自所述可调制照射源的照射引导到所述样本的所述表面；收集光学器件，其经配置以将来自所述样本的所述表面的照射引导到所述检测器；及调制控制系统，其通信地耦合到所述可调制照射源，其中所述调制控制系统经配置而以适于产生具有选定相干特征长度的照射的选定调制频率调制所述可调制照射源的驱动电流。另外，本发明包含多个光源的输出的时间循序交错以产生供在多波长时间循序光学计量中使用的周期性脉冲串。
-
公开(公告)号：CN105051877A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480004823.X
申请日：2014-09-15
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 戴维·Y·王 , 克劳斯·伏罗克 , 劳伦斯·D·罗特 , 桑卡·克里许南 , 乔汉斯·D·迪·维尔 , 卡塔林·飞利浦 , 格雷戈里·布雷迪 , 穆沙米尔·阿蓝 , 安德烈·谢卡格罗瓦
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/211 , G01B11/0641 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , H01L22/12
Abstract: 本发明揭示一种设备，所述设备包含：(i)亮光源，其用于提供处于具有从深紫外线波长到红外线波长的范围的可选择的多个波长的照明光束；(ii)照明光学器件，其用于以可选择的入射角AOI或方位角AZ组及偏光状态将所述照明光束引导朝向样品以提供光谱椭圆偏光测量，其中所述照明光学器件包含用于控制处于所述可选择AOI/AZ组中的每一者的所述照明光束在所述样品上的光点大小的切趾器；(iii)收集光学器件，其用于将响应于处于所述可选择AOI/AZ组中的每一者及偏光状态的所述照明光束而来自所述样品的输出光束引导朝向基于所述输出光束产生输出信号或图像的检测器；及(iv)控制器，其用于基于所述输出信号或图像特征化所述样品的特征。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.026 seconds)
