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公开(公告)号：CN106415807A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580026943.4
申请日：2015-05-11
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·V·库尔卡尼
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G01B21/16 , G01N21/8806 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N23/2251 , G01N2021/8825 , G01N2021/8887 , G01N2201/10 , G01N2201/12 , G01N2223/6116 , G06F17/5045 , G06T7/60 , G06T7/74 , G06T2207/30148 , H01L21/67288 , H01L22/12
Abstract: 本发明提供用于相对于所存储高分辨率裸片图像确定检验数据的位置的方法及系统。一种方法包含：使由检验系统针对晶片上的对准位点获取的数据与关于预定对准位点的数据对准。所述预定对准位点在所述晶片的所存储高分辨率裸片图像的裸片图像空间中具有预定位置。所述方法还包含：基于所述预定对准位点在所述裸片图像空间中的所述预定位置而确定所述对准位点在所述裸片图像空间中的位置。另外，所述方法包含：基于所述对准位点在所述裸片图像空间中的所述位置而确定由所述检验系统针对所述晶片获取的检验数据在所述裸片图像空间中的位置。
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公开(公告)号：CN108463876A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201780006207.1
申请日：2017-01-10
Applicant: 科磊股份有限公司
CPC classification number: G06T7/0006 , G03F1/84 , G03F1/86 , G03F7/7065 , G06T7/0004 , G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/20081 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明提供用于为样品产生模拟输出的方法及系统。一种方法包含使用一或多个计算机系统获取针对样品的信息。所述信息包含所述样品的实际光学图像、所述样品的实际电子束图像及针对所述样品的设计数据中的至少一者。所述方法还包含将针对所述样品的所述信息输入到基于学习的模型中。所述基于学习的模型包含于由一或多个计算机系统执行的一或多个组件中。所述基于学习的模型经配置以映射光学图像、电子束图像与设计数据之间的三角关系，且所述基于学习的模型将所述三角关系应用到所述输入以借此为所述样品产生模拟图像。
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公开(公告)号：CN116705637A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310673613.0
申请日：2017-10-27
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本申请的实施例涉及晶片检验临界区域的产生的方法及系统。本发明揭示一种方法，其包含：接收一或多组晶片数据；从所述一或多组晶片数据中的一或多个层中的一或多个形状识别一或多个基元；将所述一或多个基元中的每一者分类为特定基元类型；识别所述一或多个基元中的每一者的一或多个基元特性；产生所述一或多个基元的基元数据库；基于所述基元数据库来产生一或多个规则；接收一或多组设计数据；将所述一或多个规则应用于所述一或多组设计数据以识别一或多个临界区域；及产生用于检验子系统的包含所述一或多个临界区域的一或多个晶片检验方案。
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公开(公告)号：CN107533759B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201680021409.9
申请日：2016-04-22
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G06T7/00
Abstract: 本发明提供了用于识别关注图案POI的多个例项中的异常的方法和系统。一种系统包含一或多个计算机子系统，所述计算机子系统被配置用于获取由成像子系统在形成于样品上的裸片内的POI的多个例项处所产生的图像。所述多个例项包含定位在所述裸片内的非周期性位置处的两个或更多个例项。所述计算机子系统还被配置用于确定在所述POI的所述多个例项处所产生的所述图像中的每一个的特征。另外，所述计算机子系统被配置用于基于所述所确定特征来识别所述POI的所述多个例项中的一或多个异常。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108463874A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201780005676.1
申请日：2017-01-10
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G06T7/0004 , G01N21/9501 , G06T7/001 , G06T2207/10056 , G06T2207/10061 , G06T2207/20081 , G06T2207/20084 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明提供用于检测样品的图像的异常的方法及系统。一种系统包含经配置以获取由成像子系统产生的样品的图像的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置以确定所述获取图像的一或多个特性。另外，所述计算机子系统经配置以在无需将缺陷检测算法应用于所述图像或所述图像的所述一或多个特性的情况下基于所述一或多个确定特性而识别所述图像的异常。
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公开(公告)号：CN106415807B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201580026943.4
申请日：2015-05-11
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·V·库尔卡尼
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G01B21/16 , G01N21/8806 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N23/2251 , G01N2021/8825 , G01N2021/8887 , G01N2201/10 , G01N2201/12 , G01N2223/6116 , G06F17/5045 , G06T7/60 , G06T7/74 , G06T2207/30148 , H01L21/67288 , H01L22/12
Abstract: 本发明提供用于相对于所存储高分辨率裸片图像确定检验数据的位置的方法及系统。一种方法包含：使由检验系统针对晶片上的对准位点获取的数据与关于预定对准位点的数据对准。所述预定对准位点在所述晶片的所存储高分辨率裸片图像的裸片图像空间中具有预定位置。所述方法还包含：基于所述预定对准位点在所述裸片图像空间中的所述预定位置而确定所述对准位点在所述裸片图像空间中的位置。另外，所述方法包含：基于所述对准位点在所述裸片图像空间中的所述位置而确定由所述检验系统针对所述晶片获取的检验数据在所述裸片图像空间中的位置。
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公开(公告)号：CN109952635A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201780068638.0
申请日：2017-10-27
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明揭示一种方法，其包含：接收一或多组晶片数据；从所述一或多组晶片数据中的一或多个层中的一或多个形状识别一或多个基元；将所述一或多个基元中的每一者分类为特定基元类型；识别所述一或多个基元中的每一者的一或多个基元特性；产生所述一或多个基元的基元数据库；基于所述基元数据库来产生一或多个规则；接收一或多组设计数据；将所述一或多个规则应用于所述一或多组设计数据以识别一或多个临界区域；及产生用于检验子系统的包含所述一或多个临界区域的一或多个晶片检验方案。
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