强电介质存储装置及其制造方法以及混载装置

    公开(公告)号:CN1216425C

    公开(公告)日:2005-08-24

    申请号:CN01802788.1

    申请日:2001-08-21

    CPC classification number: H01L27/11502 G11C11/22 H01L27/11585 H01L27/1159

    Abstract: 一种强电介质存储装置,包括存储单元阵列和用于对上述存储单元选择性地进行信息的写入或者读出的周边电路部分,其中,存储单元阵列在基体上矩阵形地排列存储单元,包括第1信号电极,沿着与该第1信号电极交叉的方向排列的第2信号电极,至少配置在上述第1信号电极与上述第2信号电极的交叉区域中的强电介质层,其特征在于:上述存储单元阵列和上述周边电路部分配置在不同的层中,上述周边电路部分形成在上述存储单元阵列的外侧区域中,在上述基体上形成具有与该基体的表面不同的表面特性的表面修饰层,上述表面修饰层配置在没有形成上述存储单元的区域中,该表面修饰层的表面。

    交差点型强电介质存储器

    公开(公告)号:CN1612349A

    公开(公告)日:2005-05-04

    申请号:CN200410089671.6

    申请日:2004-10-29

    CPC classification number: H01L27/101 G11C11/22 H01L21/8221 H01L27/0688

    Abstract: 本发明提供一种高质量的交差点型强电介质存储器。该交差点型强电介质存储器(100),将第1存储器单元阵列(30)与第2存储器单元阵列(60),通过介入第1层间绝缘层(20)与第2层间绝缘层(50)而层叠。第1存储器单元阵列(30)包括:形成为条纹状的下部电极36;在与下部电极(36)交叉的方向上形成为条纹状的上部电极(38);配置在上部电极(36)与下部电极(38)的至少交叉部分中的强电介质电容器34;和形成在强电介质电容器(34)之间的嵌入式绝缘层(32)。第1层间绝缘层(20),在第1绝缘层(24)与第2绝缘层(26)之间具有导电层(22)。

Patent Agency Ranking