阳极接合方法、阳极接合夹具以及阳极接合装置

    公开(公告)号:CN102333738A

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN200980157675.4

    申请日:2009-02-25

    Inventor: 川田保雄

    CPC classification number: C03C27/06

    Abstract: 一种使第一基板与第二基板阳极接合的阳极接合方法,具备:基板配置工序,叠合上述第一基板与上述第二基板,将上述第一基板与上述第二基板之中充当阴极的一方的表面与具有平面的基座的上述平面接触而配置;夹具配置工序,继上述基板配置工序,将具有由能透射可见光线的材料构成的目视确认部的阳极接合夹具与上述第一基板和上述第二基板之中充当阳极的一方的表面接触而配置;对准工序,以分别设置于上述第一基板与上述第二基板的一对标记成为既定的位置关系的方式,基于透射上述目视确认部的可见光线调整上述第一基板与上述第二基板的相对位置关系;加压工序,沿使上述基座与上述阳极接合夹具相互接近的方向加压,夹入上述第一基板及上述第二基板;以及施加工序,在上述第一基板与上述第二基板之间施加直流电压。

    阳极接合方法、阳极接合夹具以及阳极接合装置

    公开(公告)号:CN102333738B

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN200980157675.4

    申请日:2009-02-25

    Inventor: 川田保雄

    CPC classification number: C03C27/06

    Abstract: 一种使第一基板与第二基板阳极接合的阳极接合方法,具备:基板配置工序,叠合上述第一基板与上述第二基板,将上述第一基板与上述第二基板之中充当阴极的一方的表面与具有平面的基座的上述平面接触而配置;夹具配置工序,继上述基板配置工序,将具有由能透射可见光线的材料构成的目视确认部的阳极接合夹具与上述第一基板和上述第二基板之中充当阳极的一方的表面接触而配置;对准工序,以分别设置于上述第一基板与上述第二基板的一对标记成为既定的位置关系的方式,基于透射上述目视确认部的可见光线调整上述第一基板与上述第二基板的相对位置关系;加压工序,沿使上述基座与上述阳极接合夹具相互接近的方向加压,夹入上述第一基板及上述第二基板;以及施加工序,在上述第一基板与上述第二基板之间施加直流电压。

    用于传送电子元件的托板和利用该托板制造电子元件的方法

    公开(公告)号:CN1841926A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200610079345.6

    申请日:2006-02-28

    Abstract: 本发明描述了用于传送电子元件的托板和利用该托板制造电子元件的方法。一种用于在一个传送方向上具有多个引线端子的电子元件的对齐的传送托板,其中传送托板形成为矩形薄板状,矩形薄板在长侧的一个侧面上具有多个切口部;至少两个切口部形成为一对;切口部的宽度与电子元件的引线端子的直径大致相同;并且该对切口部之间的间隔大于电子元件的宽度。一种利用该托板制造电子元件的方法,其中电子元件的引线端子形成在夹住电子元件的引线端子的传送托板上。

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