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公开(公告)号：CN101488511A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200910001001.7
申请日：2009-01-16
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/70 , H01L21/3205
Abstract: 本发明公开了固体摄像装置及其制造方法。该固体摄像装置包括光接收像素部、黑电平基准像素部、含有第一～第四金属布线层的多层布线部、第一遮光膜、第二遮光膜、第三遮光膜和第四遮光膜。将第一金属布线层中的一些第一金属布线以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第一遮光膜；将第二金属布线层中的一些第二金属布线布置在这些第一金属布线之间且位于上方，形成第二遮光膜；将第三金属布线层中的一些第三金属布线在垂直于第二遮光膜的方向上以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第三遮光膜；并且将第四金属布线层中的一些第四金属布线布置在这些第三金属布线之间且位于上方，形成第四遮光膜。
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公开(公告)号：CN101588506A
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200910141109.6
申请日：2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有：排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片，该彩色滤光片包括：第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号：CN104009053A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410185344.4
申请日：2009-01-23
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14687 , H01L27/14689 , H01L31/0216 , H01L31/0232 , H01L31/18
Abstract: 一种固态摄像装置及其制造方法，该固态摄像装置包括：光接收像素部，其形成于半导体基板上；黑电平基准像素部，其形成于半导体基板上；以及多层布线部，其设置于半导体基板上方。多层布线部包括形成于半导体基板上方的绝缘层以及在绝缘层中形成为多层的金属布线层。多层布线部具有：第一遮光膜，其形成于作为黑电平基准像素部上方的金属布线层之一的第一金属布线层的第一金属布线之间的区域的上方；以及第二遮光膜，其与第一遮光膜连接并由第一金属布线层上方的第二金属布线层形成。所述固态摄像装置可以在保持高遮光性能的同时减小布线层的厚度，并缩短聚光距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101488511B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200910001001.7
申请日：2009-01-16
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/70 , H01L21/3205
Abstract: 本发明公开了固体摄像装置及其制造方法。该固体摄像装置包括光接收像素部、黑电平基准像素部、含有第一～第四金属布线层的多层布线部、第一遮光膜、第二遮光膜、第三遮光膜和第四遮光膜。将第一金属布线层中的一些第一金属布线以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第一遮光膜；将第二金属布线层中的一些第二金属布线布置在这些第一金属布线之间且位于上方，形成第二遮光膜；将第三金属布线层中的一些第三金属布线在垂直于第二遮光膜的方向上以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第三遮光膜；并且将第四金属布线层中的一些第四金属布线布置在这些第三金属布线之间且位于上方，形成第四遮光膜。
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公开(公告)号：CN101588506B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910141109.6
申请日：2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有：排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片，该彩色滤光片包括：第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号：CN102244086A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110189004.5
申请日：2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , G02B5/20 , G03F7/00
CPC classification number: H01L27/14625 , G02B5/201 , G02B5/223 , H01L27/14621 , H01L27/14685
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有：排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片，该彩色滤光片包括：第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号：CN101494233A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200910000983.8
申请日：2009-01-23
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L23/522 , H01L21/82 , H01L21/768
Abstract: 一种固态摄像装置及其制造方法，该固态摄像装置包括：光接收像素部，其形成于半导体基板上；黑电平基准像素部，其形成于半导体基板上；以及多层布线部，其设置于半导体基板上方。多层布线部包括形成于半导体基板上方的绝缘层以及在绝缘层中形成为多层的金属布线层。多层布线部具有：第一遮光膜，其形成于作为黑电平基准像素部上方的金属布线层之一的第一金属布线层的第一金属布线之间的区域的上方；以及第二遮光膜，其与第一遮光膜连接并由第一金属布线层上方的第二金属布线层形成。所述固态摄像装置可以在保持高遮光性能的同时减小布线层的厚度，并缩短聚光距离。
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公开(公告)号：CN104009053B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201410185344.4
申请日：2009-01-23
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14687 , H01L27/14689 , H01L31/0216 , H01L31/0232 , H01L31/18
Abstract: 一种固态摄像装置及其制造方法，该固态摄像装置包括：光接收像素部，其形成于半导体基板上；黑电平基准像素部，其形成于半导体基板上；以及多层布线部，其设置于半导体基板上方。多层布线部包括形成于半导体基板上方的绝缘层以及在绝缘层中形成为多层的金属布线层。多层布线部具有：第一遮光膜，其形成于作为黑电平基准像素部上方的金属布线层之一的第一金属布线层的第一金属布线之间的区域的上方；以及第二遮光膜，其与第一遮光膜连接并由第一金属布线层上方的第二金属布线层形成。所述固态摄像装置可以在保持高遮光性能的同时减小布线层的厚度，并缩短聚光距离。
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