公开(公告)号：CN1735961A

公开(公告)日：2006-02-15

申请号：CN200380108218.9

申请日：2003-10-24

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 堀田慎 ,  月原浩一 ,  大岛朗文 ,  水泽卓 ,  阿部正昭

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L21/02675 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/08 ,  B23K26/082 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明是用于激光退火装置的光照射装置，具备控制部(9)，通过该控制部，在旋转轴(7a)的旋转从右旋向左旋变化后检测出旋转角成为+β时，使固态激光器(4)的脉冲导通，接着在检测出旋转角成为－β时，使固态激光器的脉冲截止，在旋转轴的旋转从左旋向右旋变化后检测出旋转角成为－β时使固态激光器的脉冲导通，接着在检测出旋转角成为+β时使固态激光器的脉冲截止。控制部还使可动平台(3)沿恒速移动方向恒速移动，从恒速移动方向的一端到另一端对退火对象物(2)照射光束后，使可动平台沿定距移动方向仅移动规定距离，以均匀的能量照射被照射物的整个面。

公开(公告)号：CN100385284C

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：CN00108211.6

申请日：2000-04-30

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 石原荣二 ,  平冈伸介 ,  池神雄司 ,  水泽卓 ,  西村东三朗

IPC: G02B21/36 ,  G02B21/22

Abstract: 本发明提供了一种能够很容易地以三维的方式观测三维物体的三维物体观测显微镜。三维物体观测显微镜包括一个其上放置有三维物体的工作台，一个包括在上部倾斜位置对三维物体成象的成象透镜和照相机的成象部分，和一个以水平方向旋转支撑成象部分并整体支撑工作台和成象部分的套管。

公开(公告)号：CN1273368A

公开(公告)日：2000-11-15

申请号：CN00108211.6

申请日：2000-04-30

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 石原荣二 ,  平冈伸介 ,  池神雄司 ,  水泽卓 ,  西村东三朗

IPC: G02B21/36

CPC classification number: G02B21/00 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/22 ,  G02B21/362

Abstract: 本发明提供了一种能够很容易地以三维的方式观测三维物体的三维物体观测显微镜。三维物体观测显微镜包括一个其上放置有三维物体的工作台,一个包括在上部倾斜位置对三维物体成象的成象透镜和照相机的成象部分,和一个以水平方向旋转支撑成象部分并整体支撑工作台和成象部分的套管。