公开(公告)号：CN1735961A

公开(公告)日：2006-02-15

申请号：CN200380108218.9

申请日：2003-10-24

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 堀田慎 ,  月原浩一 ,  大岛朗文 ,  水泽卓 ,  阿部正昭

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L21/02675 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/08 ,  B23K26/082 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明是用于激光退火装置的光照射装置，具备控制部(9)，通过该控制部，在旋转轴(7a)的旋转从右旋向左旋变化后检测出旋转角成为+β时，使固态激光器(4)的脉冲导通，接着在检测出旋转角成为－β时，使固态激光器的脉冲截止，在旋转轴的旋转从左旋向右旋变化后检测出旋转角成为－β时使固态激光器的脉冲导通，接着在检测出旋转角成为+β时使固态激光器的脉冲截止。控制部还使可动平台(3)沿恒速移动方向恒速移动，从恒速移动方向的一端到另一端对退火对象物(2)照射光束后，使可动平台沿定距移动方向仅移动规定距离，以均匀的能量照射被照射物的整个面。

公开(公告)号：CN1379459A

公开(公告)日：2002-11-13

申请号：CN02102090.6

申请日：2002-01-22

Applicant: 索尼株式会社 ,  索尼精密技术株式会社

Inventor： 和田裕之 ,  田附幸一 ,  梅津畅彦 ,  矶村英二 ,  阿部哲夫 ,  服部正 ,  大岛朗文 ,  浦垣诚 ,  野口良行 ,  玉置洋之 ,  江部正孝 ,  石黑朋广 ,  加藤康行

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/00

CPC classification number: G01N21/956

Abstract: 以不接触方式自动客观地评估多晶硅薄膜状态的多晶硅薄膜评估装置包括可移动的工作台,其上面设置承载多晶硅薄膜的基片;用可见光观察的光学系统,对多晶硅薄膜的表面图像拍照,以实现自动聚焦;用紫外光观察的光学系统,用于获得多晶硅薄膜的表面图像,利用用可见光观察的光学系统进行自动聚焦;以及评估单元,从表面图像评估该多晶硅薄膜表面空间结构的线性和周期性,以根据该线性和周期性的评估结果来评估该多晶硅薄膜的状态。

公开(公告)号：CN1215543C

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN02102090.6

申请日：2002-01-22

Applicant: 索尼株式会社 ,  索尼精密技术株式会社

Inventor： 和田裕之 ,  田附幸一 ,  梅津畅彦 ,  矶村英二 ,  阿部哲夫 ,  服部正 ,  大岛朗文 ,  浦垣诚 ,  野口良行 ,  玉置洋之 ,  江部正孝 ,  石黑朋广 ,  加藤康行

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/00 ,  G01N21/00 ,  B07C5/10

CPC classification number: G01N21/956

Abstract: 以不接触方式自动客观地评估多晶硅薄膜状态的多晶硅薄膜评估装置包括可移动的工作台，其上面设置承载多晶硅薄膜的基片；用可见光观察的光学系统，对多晶硅薄膜的表面图像拍照，以实现自动聚焦；用紫外光观察的光学系统，用于获得多晶硅薄膜的表面图像，利用用可见光观察的光学系统进行自动聚焦；以及控制器，从表面图像评估该多晶硅薄膜表面空间结构的线性和周期性，以根据该线性和周期性的评估结果来评估该多晶硅薄膜的状态。