公开(公告)号：CN1845872A

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN200480025148.5

申请日：2004-08-31

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 达拉姆·P·戈塞恩 ,  梶浦尚志 ,  村上洋介 ,  阿多诚文

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  G11B5/73 ,  G11B5/855

CPC classification number: H01J9/025 ,  G11B5/855 ,  H01J1/3042 ,  Y10T428/24744

Abstract: 一种制造细微结构体的方法，该方法能够精确控制形成有由碳等制成的管状结构的位置。圆柱状凸起部分(11)形成在衬底(10)上。随后，诸如铁(Fe)的催化物质(20)被粘附在衬底(10)上。之后，对衬底(10)进行热处理以使催化物质(20)熔化并粘结在凸起部分(11)的侧面(11A)上。这使得由催化物质(20)制成的环形催化剂图案形成在凸起部分(11)的侧面(11A)上。随后，利用催化剂图案使中空圆柱管状结构(30)生长。管状结构(30)从凸起部分(11)的侧面(11A)升起并生长成具有头部(30A)敞开的碳(纳米)管。形成精确对应凸起部分(11)位置的管状结构(30)。