公开(公告)号：CN1845872A

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN200480025148.5

申请日：2004-08-31

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 达拉姆·P·戈塞恩 ,  梶浦尚志 ,  村上洋介 ,  阿多诚文

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  G11B5/73 ,  G11B5/855

CPC classification number: H01J9/025 ,  G11B5/855 ,  H01J1/3042 ,  Y10T428/24744

Abstract: 一种制造细微结构体的方法，该方法能够精确控制形成有由碳等制成的管状结构的位置。圆柱状凸起部分(11)形成在衬底(10)上。随后，诸如铁(Fe)的催化物质(20)被粘附在衬底(10)上。之后，对衬底(10)进行热处理以使催化物质(20)熔化并粘结在凸起部分(11)的侧面(11A)上。这使得由催化物质(20)制成的环形催化剂图案形成在凸起部分(11)的侧面(11A)上。随后，利用催化剂图案使中空圆柱管状结构(30)生长。管状结构(30)从凸起部分(11)的侧面(11A)升起并生长成具有头部(30A)敞开的碳(纳米)管。形成精确对应凸起部分(11)位置的管状结构(30)。

公开(公告)号：CN1729137A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200380107040.6

申请日：2003-11-25

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 角野宏治 ,  村上洋介

IPC: B82B3/00 ,  C01B31/02 ,  C23C16/44 ,  C23C16/48 ,  B01J37/02 ,  B01J37/03 ,  B01J37/34 ,  B01J23/74 ,  H01J9/02

CPC classification number: C30B25/18 ,  B01J37/34 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B32/18 ,  C30B29/02 ,  C30B29/602 ,  G11C2213/81 ,  H01J9/025 ,  Y10S977/842 ,  Y10S977/876 ,  Y10S977/893

Abstract: 本文揭示一种产生微结构的方法，和一种生产模具的方法，这两个方法能在一种可忽略杂质的气氛中，产生比以前小得多的微孔，并藉助于这微孔还能产生具有比以前更小尺寸和更高结晶度的微结构。产生微结构的方法包括用聚焦的能量束(3)辐照，在基底(1)上制作微孔(4)以成为模具(5)的步骤，和在如此制作的微孔(4)中生长微结构(8)的步骤。生产模具的方法包括通过用聚焦的能量束(3)辐照基底(1)制作微孔(4)以成为模具(5)的步骤。