公开(公告)号：CN107422146B

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN201710369579.2

申请日：2017-05-23

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： B.P.赫措根拉特 ,  J.克拉森

IPC: G01P15/125

Abstract: 一种微机械的传感器（100），其中，表面微机械地能够制造所述微机械的传感器（100），具有至少一个构造在第三功能层（60）中的质量元件，该质量元件至少以区段的方式未被穿孔地构造；其中，在所述质量元件下方的缝隙（S）通过去除第二功能层（30）和至少一个氧化层（20）来制造；其中，所述至少一个氧化层（20）的去除借助于把气态的蚀刻介质引入到经限定数量的基本上彼此平行布置的蚀刻通道中来进行；其中，所述蚀刻通道与在第三功能层（60）中的竖直的进入通道能够连接。

公开(公告)号：CN107422146A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201710369579.2

申请日：2017-05-23

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： B.P.赫措根拉特 ,  J.克拉森

IPC: G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0008 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/025 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/0338 ,  B81C1/00174 ,  B81C1/00476 ,  B81C2201/0132 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5712 ,  G01P1/003 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0834 ,  G01P2015/0837

Abstract: 一种微机械的传感器（100），其中，表面微机械地能够制造所述微机械的传感器（100），具有至少一个构造在第三功能层（60）中的质量元件，该质量元件至少以区段的方式未被穿孔地构造；其中，在所述质量元件下方的缝隙（S）通过去除第二功能层（30）和至少一个氧化层（20）来制造；其中，所述至少一个氧化层（20）的去除借助于把气态的蚀刻介质引入到经限定数量的基本上彼此平行布置的蚀刻通道中来进行；其中，所述蚀刻通道与在第三功能层（60）中的竖直的进入通道能够连接。