公开(公告)号：CN103539061A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201310297234.2

申请日：2013-07-16

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J.克拉森 ,  M.哈塔斯 ,  L.特布杰 ,  D.C.迈泽尔

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/08

CPC classification number: B81B7/008 ,  B81B2201/0235 ,  B81C1/00246 ,  B81C2203/0735 ,  B81C2203/0771 ,  B81C2203/0792 ,  G01P2015/0877

Abstract: 本发明涉及一种微机械结构、尤其是传感器装置和一种对应的运行方法。所述微机械结构、尤其是传感器装置包括至少一个微机械的功能层(100,101)；设置在所述至少一个微机械的功能层(100,101)下方的、具有至少一个可配置的电路装置(PS)的CMOS衬底区域(700")；设置在所述至少一个微机械的功能层(100,101)和所述CMOS衬底区域(700")之间并且电连接到所述微机械的功能层(100,101)和所述电路装置(PS)上的一个或多个接触元件(30,30',30")的装置。所述可配置的电路装置(PS)被设计为，使得所述一个或多个接触元件(30、30',30")可选择性地与CMOS衬底区域(700")中的电连接线路(L1,L2,L3)连接。

公开(公告)号：CN103539061B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201310297234.2

申请日：2013-07-16

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J.克拉森 ,  M.哈塔斯 ,  L.特布杰 ,  D.C.迈泽尔

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/08

CPC classification number: B81B7/008 ,  B81B2201/0235 ,  B81C1/00246 ,  B81C2203/0735 ,  B81C2203/0771 ,  B81C2203/0792 ,  G01P2015/0877

Abstract: 本发明实现一种微机械结构、尤其是传感器装置和一种对应的运行方法。所述微机械结构、尤其是传感器装置包括至少一个微机械的功能层(100,101)；设置在所述至少一个微机械的功能层(100,101)下方的、具有至少一个可配置的电路装置(PS)的CMOS衬底区域(700")；设置在所述至少一个微机械的功能层(100,101)和所述CMOS衬底区域(700")之间并且电连接到所述微机械的功能层(100,101)和所述电路装置(PS)上的一个或多个接触元件(30,30',30")的装置。所述可配置的电路装置(PS)被设计为，使得所述一个或多个接触元件(30、30',30")可选择性地与CMOS衬底区域(700")中的电连接线路(L1,L2,L3)连接。