公开(公告)号：CN104203806A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380019462.1

申请日：2013-03-05

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M.达利 ,  R.舍本 ,  C.舍林

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H04R17/005 ,  B81B3/007 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158

Abstract: 本发明涉及一种微机电的膜片装置，所述微机电的膜片装置具有：基片，所述基片在表面上具有多个空隙；能够导电的第一电极层，所述第一电极层布置在所述基片的表面上并且所示第一电极层具有多个与所述空隙相一致的第一凹部；以及能够沿着与所述基片的有效的表面垂直的方向偏移的并且能够导电的膜片层，所述膜片层布置在所述第一电极层的上方并且以第一间距值与所述第一电极层隔开。

公开(公告)号：CN104203806B

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：CN201380019462.1

申请日：2013-03-05

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M.达利 ,  R.舍本 ,  C.舍林

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H04R17/005 ,  B81B3/007 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158

Abstract: 本发明涉及一种微机电的膜片装置，所述微机电的膜片装置具有：基片，所述基片在表面上具有多个空隙；能够导电的第一电极层，所述第一电极层布置在所述基片的表面上并且所示第一电极层具有多个与所述空隙相一致的第一凹部；以及能够沿着与所述基片的有效的表面垂直的方向偏移的并且能够导电的膜片层，所述膜片层布置在所述第一电极层的上方并且以第一间距值与所述第一电极层隔开。