用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件

    公开(公告)号:CN112136038A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN201980033152.2

    申请日:2019-05-07

    Abstract: 本发明公开一种用于制造至少一个用于量热探测气体的微机械的传感器的膜片装置的方法,其中:提供晶片状的衬底;将至少一个参考容积在形成至少局部覆盖参考容积的参考膜片的情况下通过表面或容积微机械工艺由前侧引入晶片状的衬底中;将至少一个与至少一个参考容积相邻的测量容积由晶片状的衬底的背侧或前侧在形成测量膜片的情况下引入衬底中;将晶片状的盖衬底施加到晶片状的衬底的前侧上。此外还公开一种膜片装置和构件。

    用于测量分析气体的浓度的气体传感器

    公开(公告)号:CN111094960B

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN201880057529.3

    申请日:2018-08-16

    Abstract: 本发明公开了一种气体传感器,该气体传感器用于基于热传导原理测量分析气体的浓度,该气体传感器具有:布置在第一膜片上的、用于加热所述分析气体的至少一个分析加热元件;布置在第二膜片上的、用于加热参考气体的参考加热元件;用于测量所述分析加热元件的由所述分析气体引起的、相对于所述参考加热元件的电阻而言的阻抗变化的至少一个分析处理电子部件,其中,所述第一膜片和所述第二膜片彼此相邻地布置在传感器衬底中,并且其中,通过在一侧布置在所述传感器衬底上的基座衬底能够在所述第一膜片和所述基座衬底之间形成测量容积并且在所述第二膜片和所述基座衬底之间形成参考容积。

    用于液压制动系统的密封件

    公开(公告)号:CN102985303B

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201180034582.X

    申请日:2011-06-14

    CPC classification number: B60T11/236

    Abstract: 公开了一种用于活塞的密封件,所述活塞可滑动地设置在液压系统的缸孔内,所述密封件包括密封体和滑行环,所述密封体具有被设置成用于接触所述缸孔的外密封表面,所述滑行环至少部分设置在所述密封体的所述外密封表面内。滑行环包括外表面,所述密封体的所述外密封表面包括突出超过所述滑行环的所述外表面的至少一个密封唇。

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