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公开(公告)号：CN102934219A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180028550.9
申请日：2011-06-08
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/67346
Abstract: 本发明提供一种夹持装置和方法，用于将具有不同尺寸的第一工件和第二工件固定至夹持装置并且为其提供热调节。静电夹持板包围夹具的中央部分，静电夹持板具有和第一工件相关联的直径。非静电中央部分在环内提供加热器，其中中央部分具有和第二工件相关联的直径。设置工件托架，其中工件托架被构造成将第二工件保持在加热器的上方，且其中工件托架的直径和静电夹持板环相关联。环选择性地将工件托架或第一工件的圆周部分静电夹持至其夹持表面，其中选择性地保持第一工件或第二工件相对于环或非静电中央部分的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101558469B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200780034611.6
申请日：2007-09-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/0041 , H01J2237/055
Abstract: 一种磁性扫描器，采用恒定的磁场来减轻零磁场效应。该扫描器包含上极器件以及下极器件，用于在离子束的路径上产生振荡时变磁场并且在扫描方向上偏转该离子束。一组入口磁铁被设置在该扫描器的入口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的入口磁场。一组出口磁铁被设置在该扫描器的出口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的出口磁场。
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公开(公告)号：CN102934218B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201180028276.5
申请日：2011-06-08
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/68728
Abstract: 本发明提供一种静电夹具，该静电夹具具有夹持板，其中夹持板的夹持表面被构造成接触工件。施加至一个或多个电极的电压将工件选择性地静电吸引至夹持表面。本发明还提供一个或多个辅助夹持构件，其中一个或多个辅助夹持构件被构造成将工件的至少一部分选择性地固定至夹持表面。本发明还提供一种温度监测装置，该温度监测装置被构造成确定该工件的温度，而且控制器被构造成至少部分地基于工件的温度通过控制施加至一个或多个电极的电压以及一个或多个辅助夹持构件来将工件选择性地夹持至夹持表面。
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公开(公告)号：CN102934219B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201180028550.9
申请日：2011-06-08
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/67346
Abstract: 本发明提供一种夹持装置和方法，用于将具有不同尺寸的第一工件和第二工件固定至夹持装置并且为其提供热调节。静电夹持板包围夹具的中央部分，静电夹持板具有和第一工件相关联的直径。非静电中央部分在环内提供加热器，其中中央部分具有和第二工件相关联的直径。设置工件托架，其中工件托架被构造成将第二工件保持在加热器的上方，且其中工件托架的直径和静电夹持板环相关联。环选择性地将工件托架或第一工件的圆周部分静电夹持至其夹持表面，其中选择性地保持第一工件或第二工件相对于环或非静电中央部分的位置。
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公开(公告)号：CN102934218A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180028276.5
申请日：2011-06-08
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/68728
Abstract: 本发明提供一种静电夹具，该静电夹具具有夹持板，其中夹持板的夹持表面被构造成接触工件。施加至一个或多个电极的电压将工件选择性地静电吸引至夹持表面。本发明还提供一个或多个辅助夹持构件，其中一个或多个辅助夹持构件被构造成将工件的至少一部分选择性地固定至夹持表面。本发明还提供一种温度监测装置，该温度监测装置被构造成确定该工件的温度，而且控制器被构造成至少部分地基于工件的温度通过控制施加至一个或多个电极的电压以及一个或多个辅助夹持构件来将工件选择性地夹持至夹持表面。
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公开(公告)号：CN101558469A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200780034611.6
申请日：2007-09-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/0041 , H01J2237/055
Abstract: 一种磁性扫描器，采用恒定的磁场来减轻零磁场效应。该扫描器包含上极器件以及下极器件，用于在离子束的路径上产生振荡时变磁场并且在扫描方向上偏转该离子束。一组入口磁铁被设置在该扫描器的入口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的入口磁场。一组出口磁铁被设置在该扫描器的出口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的出口磁场。
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