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公开(公告)号：CN101558469B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200780034611.6
申请日：2007-09-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/0041 , H01J2237/055
Abstract: 一种磁性扫描器，采用恒定的磁场来减轻零磁场效应。该扫描器包含上极器件以及下极器件，用于在离子束的路径上产生振荡时变磁场并且在扫描方向上偏转该离子束。一组入口磁铁被设置在该扫描器的入口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的入口磁场。一组出口磁铁被设置在该扫描器的出口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的出口磁场。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101675494A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200880014181.6
申请日：2008-04-03
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 迈克尔·葛雷夫 , 约翰·叶 , 波·凡德尔贝格 , 迈克尔·克里斯托弗罗 , 黄永章
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24405 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/24578 , H01J2237/30477
Abstract: 本发明的一个实施例涉及一种用于确定离子束轮廓的设备。所述设备包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区。所述设备还包括控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。本发明还公开了其它设备和方法。
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公开(公告)号：CN101553897B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200780035716.3
申请日：2007-09-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1471 , H01J37/04 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/0475 , H01J2237/055 , H01J2237/1501 , H01J2237/152 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/3045 , H01J2237/31703
Abstract: 一种离子注入系统(410)的平行化部件(439)包括两个成角度的双极磁铁(439a、439b)，其彼此成镜像且用于弯曲横越其中的离子束(424)，以具有大致“s”形状。这种s弯曲用于从束中滤除杂质，同时所述双极平行化所述束以帮助在晶片(430)上有均匀的注入性能，例如注入角度。另外，在注入系统的末端处还包含减速级(457)，使得束的能量可在整个束线中均保持非常高，以减轻束扩散。
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公开(公告)号：CN101675494B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200880014181.6
申请日：2008-04-03
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 迈克尔·葛雷夫 , 约翰·叶 , 波·凡德尔贝格 , 迈克尔·克里斯托弗罗 , 黄永章
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24405 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/24578 , H01J2237/30477
Abstract: 本发明的一个实施例涉及一种用于确定离子束轮廓的设备。所述设备包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区。所述设备还包括控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。本发明还公开了其它设备和方法。
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公开(公告)号：CN101558469A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200780034611.6
申请日：2007-09-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/0041 , H01J2237/055
Abstract: 一种磁性扫描器，采用恒定的磁场来减轻零磁场效应。该扫描器包含上极器件以及下极器件，用于在离子束的路径上产生振荡时变磁场并且在扫描方向上偏转该离子束。一组入口磁铁被设置在该扫描器的入口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的入口磁场。一组出口磁铁被设置在该扫描器的出口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的出口磁场。
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公开(公告)号：CN101553897A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200780035716.3
申请日：2007-09-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1471 , H01J37/04 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/0475 , H01J2237/055 , H01J2237/1501 , H01J2237/152 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/3045 , H01J2237/31703
Abstract: 一种离子注入系统(410)的平行化部件(439)包括两个成角度的双极磁铁(439a、439b)，其彼此成镜像且用于弯曲横越其中的离子束(424)，以具有大致“s”形状。这种s弯曲用于从束中滤除杂质，同时所述双极平行化所述束以帮助在晶片(430)上有均匀的注入性能，例如注入角度。另外，在注入系统的末端处还包含减速级(457)，使得束的能量可在整个束线中均保持非常高，以减轻束扩散。
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