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公开(公告)号：CN103743548A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201410027444.4
申请日：2014-01-21
Abstract: 一种补偿系统、高次非球面检测装置及方法，该补偿系统包括多块共轴的光学镜片，所述多块光学镜片中设有一块分光镜，该分光镜的一个表面为二次非球面表面，该二次非球面位于所述补偿系统的中间位置，光线将垂直入射到上述二次非球面表面，部分光线经反射按原光路返回形成标准光，另外部分光线则从该面垂直透射形成测量光。由于测量光和标准光在分光镜之前的光学系统中共光路，使得这些元件的面形误差、系统装配精误差，偏心误差、材料折射率均匀性以及装卡应力造成的不利影响均被抵消，对加工装配精度要求大大下降，这有利于给各种装配偏差留出误差空间，能够达到更高检测精度，并确保最终检测精度可靠有效。
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公开(公告)号：CN102478386B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201010568204.7
申请日：2010-11-30
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种三次位相板精度的检测方法及系统，包括：A、发出平行光通过三次位相板到达反射镜，反射镜与所述三次位相板成预设角度；B、接收从反射镜通过三次位相板返回的反射光，形成干涉面形测量数据；C、将干涉面形测量数据与预设模板进行对比，得到三次位相板的误差；D、将误差进行泽尼克多项式展开；E、调整三次位相板的位置并重复执行步骤A、B、C和D，直至泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零，将此时的误差作为最终误差。本发明实现了将三次位相板本身的面型误差，与摆放位置的偏差所造成的误差剥离，并且能够使用户直观地调节三次位相板的位置，来消除因摆放位置偏差所造成的误差，从而提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN102478386A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201010568204.7
申请日：2010-11-30
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种三次位相板精度的检测方法及系统，包括：A、发出平行光通过三次位相板到达反射镜，反射镜与所述三次位相板成预设角度；B、接收从反射镜通过三次位相板返回的反射光，形成干涉面形测量数据；C、将干涉面形测量数据与预设模板进行对比，得到三次位相板的误差；D、将误差进行泽尼克多项式展开；E、调整三次位相板的位置并重复执行步骤A、B、C和D，直至泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零，将此时的误差作为最终误差。本发明实现了将三次位相板本身的面型误差，与摆放位置的偏差所造成的误差剥离，并且能够使用户直观地调节三次位相板的位置，来消除因摆放位置偏差所造成的误差，从而提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN103743548B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410027444.4
申请日：2014-01-21
Abstract: 一种补偿系统、高次非球面检测装置及方法，该补偿系统包括多块共轴的光学镜片，所述多块光学镜片中设有一块分光镜，该分光镜的一个表面为二次非球面表面，该二次非球面位于所述补偿系统的中间位置，光线将垂直入射到上述二次非球面表面，部分光线经反射按原光路返回形成标准光，另外部分光线则从该面垂直透射形成测量光。由于测量光和标准光在分光镜之前的光学系统中共光路，使得这些元件的面形误差、系统装配精误差，偏心误差、材料折射率均匀性以及装卡应力造成的不利影响均被抵消，对加工装配精度要求大大下降，这有利于给各种装配偏差留出误差空间，能够达到更高检测精度，并确保最终检测精度可靠有效。
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