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公开(公告)号：CN105043290B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201510288139.5
申请日：2015-05-29
Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院 , 苏州大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本申请公开了一种轮廓测量装置，用于检测光学非球面的面型轮廓，包括导轨和移动设置在所述导轨上的测量机构，其中，所述测量机构包括：与所述导轨滑动连接的连接件；设置在所述连接件上的杠杆机构，所述杠杆机构的杠杆的一端，连接有能够与光学非球面接触的球头，另一端连接有测量探头。本发明提供的轮廓检测装置，因为球头在光学非球面的表面上连续移动，不仅能够实现对光学非球面的连续测量，而且可以利用杠杆机构的放大作用以及测量探头的光栅传感器的准确度，将光学非球面的表面轮廓起伏放大，从而显著提高了对光学非球面的测量准确度。本发明还提供了上述轮廓检测装置的一种检测光学非球面的方法。
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公开(公告)号：CN102478386B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201010568204.7
申请日：2010-11-30
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种三次位相板精度的检测方法及系统，包括：A、发出平行光通过三次位相板到达反射镜，反射镜与所述三次位相板成预设角度；B、接收从反射镜通过三次位相板返回的反射光，形成干涉面形测量数据；C、将干涉面形测量数据与预设模板进行对比，得到三次位相板的误差；D、将误差进行泽尼克多项式展开；E、调整三次位相板的位置并重复执行步骤A、B、C和D，直至泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零，将此时的误差作为最终误差。本发明实现了将三次位相板本身的面型误差，与摆放位置的偏差所造成的误差剥离，并且能够使用户直观地调节三次位相板的位置，来消除因摆放位置偏差所造成的误差，从而提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN102478386A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201010568204.7
申请日：2010-11-30
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种三次位相板精度的检测方法及系统，包括：A、发出平行光通过三次位相板到达反射镜，反射镜与所述三次位相板成预设角度；B、接收从反射镜通过三次位相板返回的反射光，形成干涉面形测量数据；C、将干涉面形测量数据与预设模板进行对比，得到三次位相板的误差；D、将误差进行泽尼克多项式展开；E、调整三次位相板的位置并重复执行步骤A、B、C和D，直至泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零，将此时的误差作为最终误差。本发明实现了将三次位相板本身的面型误差，与摆放位置的偏差所造成的误差剥离，并且能够使用户直观地调节三次位相板的位置，来消除因摆放位置偏差所造成的误差，从而提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN103743548A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201410027444.4
申请日：2014-01-21
Abstract: 一种补偿系统、高次非球面检测装置及方法，该补偿系统包括多块共轴的光学镜片，所述多块光学镜片中设有一块分光镜，该分光镜的一个表面为二次非球面表面，该二次非球面位于所述补偿系统的中间位置，光线将垂直入射到上述二次非球面表面，部分光线经反射按原光路返回形成标准光，另外部分光线则从该面垂直透射形成测量光。由于测量光和标准光在分光镜之前的光学系统中共光路，使得这些元件的面形误差、系统装配精误差，偏心误差、材料折射率均匀性以及装卡应力造成的不利影响均被抵消，对加工装配精度要求大大下降，这有利于给各种装配偏差留出误差空间，能够达到更高检测精度，并确保最终检测精度可靠有效。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105043290A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510288139.5
申请日：2015-05-29
Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 本申请公开了一种轮廓测量装置，用于检测光学非球面的面型轮廓，包括导轨和移动设置在所述导轨上的测量机构，其中，所述测量机构包括：与所述导轨滑动连接的连接件；设置在所述连接件上的杠杆机构，所述杠杆机构的杠杆的一端，连接有能够与光学非球面接触的球头，另一端连接有测量探头。本发明提供的轮廓检测装置，因为球头在光学非球面的表面上连续移动，不仅能够实现对光学非球面的连续测量，而且可以利用杠杆机构的放大作用以及测量探头的光栅传感器的准确度，将光学非球面的表面轮廓起伏放大，从而显著提高了对光学非球面的测量准确度。本发明还提供了上述轮廓检测装置的一种检测光学非球面的方法。
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公开(公告)号：CN103743548B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410027444.4
申请日：2014-01-21
Abstract: 一种补偿系统、高次非球面检测装置及方法，该补偿系统包括多块共轴的光学镜片，所述多块光学镜片中设有一块分光镜，该分光镜的一个表面为二次非球面表面，该二次非球面位于所述补偿系统的中间位置，光线将垂直入射到上述二次非球面表面，部分光线经反射按原光路返回形成标准光，另外部分光线则从该面垂直透射形成测量光。由于测量光和标准光在分光镜之前的光学系统中共光路，使得这些元件的面形误差、系统装配精误差，偏心误差、材料折射率均匀性以及装卡应力造成的不利影响均被抵消，对加工装配精度要求大大下降，这有利于给各种装配偏差留出误差空间，能够达到更高检测精度，并确保最终检测精度可靠有效。
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