一种MEMS陀螺模态自动匹配装置、方法、系统及介质

    公开(公告)号:CN119043293A

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202410615267.5

    申请日:2024-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS陀螺模态自动匹配装置、方法、系统及介质,涉及自动控制领域,装置中电荷放大模块用于将MEMS陀螺质量块的电极的电容变化量转换为振动电信号,第一解调器则会从振动电信号中解调出正交信号或同相信号,相位控制器用于确定正交信号对应的第一谐振频率或确定同相信号对应的第二谐振频率,并通过第一线路切换控制器向MEMS陀螺质量块传输相应的稳定信号以使驱动模态或敏感模态保持在谐振状态,而自动匹配控制器能够基于模态变换中驱动模态对应的第一谐振频率减去敏感模态对应的第二谐振频率的频率差改变输出至驱动模态调谐电极的调谐电压,使得调整后的频率差处于第一预设值范围内,实现驱动模态与敏感模态的匹配。

    一种矩阵式MEMS传感器的数据采集系统

    公开(公告)号:CN221709995U

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202323363082.X

    申请日:2023-12-11

    Abstract: 本实用新型公开了一种矩阵式MEMS传感器的数据采集系统,包括:生成数据采集命令的计算机;与计算机相连,根据数据采集命令生成数据采集指令,并将接收到的各目标传感器数据返回给计算机的FPGA芯片;与FPGA芯片相连,根据数据采集指令对各目标传感器数据进行同步采集的矩阵式MEMS传感器;与FPGA芯片和矩阵式MEMS传感器相连,对FPGA芯片和矩阵式MEMS传感器进行电平转换的各电平转换电路。应用本实用新型所提供的矩阵式MEMS传感器的数据采集系统,扩展了数据采集时可选的MEMS传感器范围,提高了采集到的传感器数据的准确度。

    一种平行板电容器信号检测电路和电容式MEMS传感器

    公开(公告)号:CN221631548U

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202420112504.1

    申请日:2024-01-17

    Abstract: 本实用新型涉及电容传感器技术领域,公开了一种平行板电容器信号检测电路和电容式MEMS传感器,相对于当前技术中仅使用基波信号进行平行板电容器位移的判断依据存在信号采样个数少导致位移评估不准确的问题,采用本技术方案,通过正电极信号采集电路和负电极信号采集电路采集平行板电容器的极板信号,并通过谐波分离器分离出其中的奇次谐波和偶次谐波,实现更多的谐波信号的提取,并且根据奇次谐波和偶次谐波信号的不同,通过对比等方式能够提供更加准确的平行板电容器位移评估。

    一种解调相位可调的电容式MEMS传感器信号检测电路

    公开(公告)号:CN221781573U

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202420055497.6

    申请日:2024-01-10

    Abstract: 本实用新型公开了一种解调相位可调的电容式MEMS传感器信号检测电路,包括采用高频载波调试的方式进行信号检测的电容式MEMS传感器,所述信号检测电路还包括两路电荷拾取电路、两路高通滤波器、差分放大器、乘法器、相位延迟器和低通滤波器;所述电容式MEMS传感器输出两路分别为DDP和DDN的差动电容信号,两路电荷拾取电路分别与电容式MEMS传感器连接,两路电荷拾取电路用于将DDP和DDN两路差动电容信号分别转换为DDP_CV和DDN_CV的高频调制电信号。本实用新型通过在现有电容式MEMS传感器信号检测电路上,增设一个相位延迟电路来调整载波信号的相位,使其与差分放大后的高频调制信号相位一致,用于乘法解调,最终获得高信噪比的检测输出信号,从而保证了解调效率。

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