公开(公告)号：CN114318293A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111644533.X

申请日：2021-12-29

Applicant: 苏州迈为科技股份有限公司

Inventor： 张永胜 ,  解传佳 ,  武瑞军 ,  刘浏 ,  莫超超 ,  陆晓星 ,  常新新

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  C23C14/54 ,  C23C14/56 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种电池片成膜气氛控制方法、成膜系统和成膜方法，属于电池成膜技术领域。它包括预先设定电池片成膜气氛中所需的标准水汽分压P标＝P1±P2，其中P1‑P2为标准水汽分压的最低值，P1+P2为标准水气分压的最高值；将待成膜电池片置于成膜腔体中，成膜腔体中设有温度可调的冷阱盘管，冷阱盘管的温度调节范围为‑180℃～‑100℃；电池片成膜气氛中的实际水汽分压为P实，若P实＞P1+P2，则通过降低冷阱盘管的温度来降低P实并使其在P1±P2范围内；若P实＜P1‑P2，则通过增加冷阱盘管的温度来增加P实并使其在P1±P2范围内。本发明能有效控制电池片成膜气氛中的水汽含量，进而提升成膜电池片的转换效率Eta等性能。