公开(公告)号：CN113138167A

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN202110022990.9

申请日：2021-01-08

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A·G·奥纳兰 ,  D·图姆波德

IPC: G01N21/17

Abstract: 根据本公开的各实施例涉及具有穿孔膜的微机械设备。本公开涉及一种微机械设备(100)和一种用于制造该微机械设备的方法。微机械设备(100)可以包括悬置在衬底(102)上的膜结构(110)。膜结构(110)可以包括气体可渗透的穿孔膜(120)以及加强结构(140)，该穿孔膜包括多个穿孔(130)，该加强结构与穿孔膜(120)耦合，以用于使穿孔膜(120)变硬和/或用于增加穿孔膜(120)的机械稳定性，以减弱穿孔膜(120)的振动。

公开(公告)号：CN109425390B

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN201810959204.6

申请日：2018-08-22

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： C·布雷特豪尔 ,  A·德厄 ,  P·玛卡拉姆 ,  A·G·奥纳兰 ,  A·沃瑟

IPC: G01D21/02 ,  G01N29/02 ,  B81B7/02

Abstract: MEMS传感器包括衬底和悬置在衬底处的膜，该膜的谐振频率受到作用到膜上的环境压力的影响。MEMS传感器包括评估设备，所述评估设备被配置为基于所述膜的谐振频率执行测量以获得测量结果。该评估设备被构造成考虑环境压力，使得环境压力对测量结果的影响至少得到部分补偿。

公开(公告)号：CN109425390A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810959204.6

申请日：2018-08-22

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： C·布雷特豪尔 ,  A·德厄 ,  P·玛卡拉姆 ,  A·G·奥纳兰 ,  A·沃瑟

IPC: G01D21/02 ,  G01N29/02 ,  B81B7/02

Abstract: MEMS传感器包括衬底和悬置在衬底处的膜，该膜的谐振频率受到作用到膜上的环境压力的影响。MEMS传感器包括评估设备，所述评估设备被配置为基于所述膜的谐振频率执行测量以获得测量结果。该评估设备被构造成考虑环境压力，使得环境压力对测量结果的影响至少得到部分补偿。

公开(公告)号：CN115002632A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210177081.7

申请日：2022-02-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A·G·奥纳兰 ,  M·菲尔德纳 ,  D·斯特雷尤斯尼格

IPC: H04R19/04 ,  B81B7/02

Abstract: 公开了MEMS设备，该MEMS设备具有TMD结构。MEMS设备(10)包括：锚定到基板(14)的悬挂电极结构(12；13)，该MEMS设备(10)具有MEMS谐振模式；以及TMD(调谐质量阻尼)结构(16)，其中悬挂电极结构(12；13)的一部分被布置成形成具有TMD弹簧元件(16‑2)和TMD质量元件(16‑1)的TMD结构(16)，用于提供抵消MEMS谐振模式的TMD谐振模式。