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公开(公告)号：CN111698624A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010150488.1
申请日：2020-03-06
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开涉及MEMS器件以及用于制造MEMS器件的方法。MEMS器件包括形成电容性感测布置的第一电极结构和第二电极结构。MEMS器件包括被布置在第一电极结构和第二电极结构之间对应的多个位置处的多个抗静摩擦凸块。投影到第二电极结构的主表面中的多个位置被分布为以便包括在主表面的第一主表面区域中的第一分布密度，并且以便包括在主表面的第二主表面区域中的不同的第二分布密度，第二主表面区域与第一主表面区域划界。
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公开(公告)号：CN109425390A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810959204.6
申请日：2018-08-22
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: MEMS传感器包括衬底和悬置在衬底处的膜，该膜的谐振频率受到作用到膜上的环境压力的影响。MEMS传感器包括评估设备，所述评估设备被配置为基于所述膜的谐振频率执行测量以获得测量结果。该评估设备被构造成考虑环境压力，使得环境压力对测量结果的影响至少得到部分补偿。
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公开(公告)号：CN108449702B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201810151536.1
申请日：2018-02-14
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·沃瑟 , C·阿伦斯 , A·德厄 , G·梅茨格-布吕克尔 , J·斯特拉塞
IPC: H04R19/04
Abstract: 微型机电麦克风可以包括：参考电极，布置在所述参考电极的第一侧并且能够通过待检测的声音移动的第一膜，以及布置在与参考电极的第一侧相对的所述参考电极的第二侧上并且能够通过待检测的声音移动的第二膜。第一膜和第二膜中的一个的、通过声音相对于参考电极移动的区域，不取决于其相对于参考电极的位置，该区域可以包括平坦部分以及邻近该平坦部分并且在膜的与第一膜和第二膜中另一个的重叠区域中布置的波纹部分。
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公开(公告)号：CN105992116B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201610154241.0
申请日：2016-03-17
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 根据一个实施方式，换能器组件包括具有端口的电路板，设置在所述端口上方的盖，设置在所述端口上方并且包括膜的声换能器，以及在所述电路板处设置在所述端口中的环境换能器。该盖包围第一区域，并且该膜将端口从第一区域分开。其它实施方式包括相应的系统装置和结构，各被配置成执行相应实施方式方法的动作或步骤。
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公开(公告)号：CN109429158A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201811011584.7
申请日：2018-08-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： J·斯特拉塞 , A·德厄 , G·梅茨格-布吕克尔 , J·瓦格纳 , A·沃瑟
Abstract: 双膜MEMS器件的制造方法，具有：在衬底上提供层布置，具有第一膜结构、邻接第一膜结构的牺牲材料层和在牺牲材料层中并与第一膜结构间隔的反电极结构，在牺牲材料层中形成通孔，直到第一膜结构并与反电极结构分离，通过将第一填充材料层施加到通孔的壁区域，在通孔中形成填充材料结构，以在通孔中邻接第一填充材料层获得内部体积区域，在层布置上施加第二膜结构，以密封内部体积区域，反电极结构布置在由牺牲材料填充的位于第一和第二膜结构之间的中间区域中并分别与其间隔，从中间区域中去除牺牲材料以暴露填充材料结构，以在第一和第二膜结构之间获得机械连接元件，其机械耦合到第一和第二膜结构之间并与反电极结构机械解耦。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105992116A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610154241.0
申请日：2016-03-17
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 根据一个实施方式，换能器组件包括具有端口的电路板，设置在所述端口上方的盖，设置在所述端口上方并且包括膜的声换能器，以及在所述电路板处设置在所述端口中的环境换能器。该盖包围第一区域，并且该膜将端口从第一区域分开。其它实施方式包括相应的系统装置和结构，各被配置成执行相应实施方式方法的动作或步骤。
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公开(公告)号：CN109678105B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN201811217950.4
申请日：2018-10-18
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： G·梅茨格-布吕克尔 , A·德厄 , U·赫科勒 , J·斯特拉塞 , A·沃瑟
Abstract: 本公开的实施例涉及封闭通向空腔的进入开口的方法和具有封闭元件的MEMS部件。该方法具有以下步骤：提供具有第一层结构的层布置和与第一层结构邻接地布置的空腔，其中第一层结构具有通向空腔的进入开口；执行CVD层沉积以便在具有进入开口的第一层结构上形成具有层厚度的第一覆盖层；和执行具有第一子步骤和第二子步骤的HDP层沉积以便在第一覆盖层上形成第二覆盖层，其中在第一子步骤中，在第一覆盖层上发生衬垫材料层的沉积，其中在第二子步骤中，在进入开口的区域中实现衬垫材料层的以及第一覆盖层的局部背向溅射，并且其中第一子步骤和第二子步骤交替地且多次重复地执行。
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公开(公告)号：CN112340692A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202010787920.8
申请日：2020-08-07
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明的实施例总体上涉及MEMS器件。一种微机电系统(MEMS)器件包括布置在基底之上的柔性膜和布置在柔性膜之上的第一背板。第一背板包括面向柔性膜的第一多个凸出部。MEMS器件还包括布置在柔性膜处的多个特征，其中多个特征中的每个特征与第一多个凸出部中对应的一个凸出部相关联。
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公开(公告)号：CN109525928A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811089999.6
申请日：2018-09-18
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本申请涉及一种MEMS麦克风。该MEMS麦克风可以包括：声音检测单元以及阀。声音检测可以包括：第一膜；与第一膜间隔布置的第二膜；被提供在第一膜和第二之间的低压区域，在该低压区域中存在与常压相比较小的气压；至少部分地布置在低压区域中的反电极；以及声通孔，该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被被提供在声通孔处，并且设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。
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公开(公告)号：CN116946963A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310391403.2
申请日：2023-04-13
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: B81B7/02
Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS器件。MEMS器件包括以竖直间隔配置的第一可偏转膜结构、刚性电极结构和第二可偏转膜结构，其中刚性电极结构被布置在第一和第二可偏转膜结构之间，并且其中第一和第二可偏转膜结构各自包括可偏转部分，并且其中第一和第二可偏转膜结构的可偏转部分借助机械连接元件彼此机械耦合，并且与刚性电极结构机械解耦；以及其中机械连接元件的至少一个子集是细长机械连接元件，其中细长机械连接元件具有横向截面区域，横向截面区域沿着如下方向具有横向伸长尺寸：该方向与第一和第二可偏转膜结构在相应细长机械连接元件的横向位置处的局部膜偏转梯度在+/‑20°公差范围内垂直。
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