公开(公告)号：CN112179289A

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN202010974588.6

申请日：2020-09-16

Applicant: 西北工业大学宁波研究院

Inventor： 虞益挺 ,  董雪 ,  仝赓 ,  肖星辰 ,  宋旋坤

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种基于DMD的光谱成像目标获取系统及方法，该系统包括成像光路、位于成像光路物面处的目标、位于成像光路像面处的DMD、分光光路以及位于分光光路的像面处的探测器，成像光路和分光光路均包括光轴，DMD包括工作面，成像光路和分光光路的光轴均经过DMD的工作面的中心，DMD的工作面上包括n（n≥2）个处于“ON”状态的微镜扫描单元，DMD的工作面上的n个微镜扫描单元同时并行工作，其采集速度是单个微镜扫描单位采集速度的n倍，采集时间也缩短到原来的1/n，DMD上的多个微镜扫描单元可实现片上微观并行扫描，采集速度更是大大提高。

公开(公告)号：CN220106435U

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202320894666.0

申请日：2023-04-20

Applicant: 西北工业大学宁波研究院

Inventor： 虞益挺 ,  卡迪尔阿基尔 ,  宋旋坤 ,  沙海

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/04 ,  G01R31/26

Abstract: 本实用新型涉及半导体光电特性测试领域，具体公开了一种半导体样品光电特性信息采集器件，包括放置箱和设备选择器，放置箱与设备选择器电连接，设备选择器则用于连接外部的信息处理设备，而且在放置箱内设置了采集器；本实用新型产生的有益效果有；通过使用设备选择器和的放置箱，并将这二者电连接，能过获取被测半导体两个或三个电极所对应的光电信息，并且传送到信息处理等设备(比如示波器)，实现了获取半导体信息的高效和经济的有益效果。