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公开(公告)号：CN112484857A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011215324.9
申请日：2020-11-04
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于DMD的光谱成像系统及方法，该系统包括成像子系统、目标、DMD工作面、若干列处于偏转工作状态的微镜、转像子系统、分光子系统以及探测器工作面，若干处于偏转工作状态的微镜通过DMD工作面的垂直中线平均划分成两部分，一部分为时序上先按列偏转的若干前半部分微镜，另一部分为时序上后按列偏转的若干后半部分微镜，从成像子系统出射出来的光线包括光轴A，从前半部分微镜反射出来的光线包括光轴B，从后半部分微镜反射出来的光线包括光轴C，转像子系统用于改变光轴B或者光轴C的方向，使光轴B与光轴C位于垂直平面上，该系统克服了探测器工作面长边尺寸制约着色散光谱宽度这一缺陷，提高了光谱分辨率。
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公开(公告)号：CN114408854B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202111541499.3
申请日：2021-12-16
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法，二维微机械双向扭转镜阵列包括电极基底以及设置在电极基底上的微镜单元，微镜单元包括微镜支撑结构层、通孔电极基底以及镜面结构层，微镜支撑结构层包括锚点、扭转梁、第一下电极以及第二下电极，通孔电极基底包括第一通孔电极、第二通孔电极以及第三通孔电极，第一通孔电极与第一下电极贴触，第二通孔电极与第二下电极贴触，所述第三通孔电极与锚点贴触，镜面结构层包括镜面以及镜面支撑结构，扭转梁通过其两端的锚点支撑并悬置于通孔电极基底上方，第一下电极和第二下电极关于扭转梁对称分布，改善了微镜阵列在光谱成像系统中的光场匹配性，简化了系统光路，促进了光谱成像系统小型化。
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公开(公告)号：CN112484857B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011215324.9
申请日：2020-11-04
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于DMD的光谱成像系统及方法，该系统包括成像子系统、目标、DMD工作面、若干列处于偏转工作状态的微镜、转像子系统、分光子系统以及探测器工作面，若干处于偏转工作状态的微镜通过DMD工作面的垂直中线平均划分成两部分，一部分为时序上先按列偏转的若干前半部分微镜，另一部分为时序上后按列偏转的若干后半部分微镜，从成像子系统出射出来的光线包括光轴A，从前半部分微镜反射出来的光线包括光轴B，从后半部分微镜反射出来的光线包括光轴C，转像子系统用于改变光轴B或者光轴C的方向，使光轴B与光轴C位于垂直平面上，该系统克服了探测器工作面长边尺寸制约着色散光谱宽度这一缺陷，提高了光谱分辨率。
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公开(公告)号：CN112179289A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010974588.6
申请日：2020-09-16
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种基于DMD的光谱成像目标获取系统及方法，该系统包括成像光路、位于成像光路物面处的目标、位于成像光路像面处的DMD、分光光路以及位于分光光路的像面处的探测器，成像光路和分光光路均包括光轴，DMD包括工作面，成像光路和分光光路的光轴均经过DMD的工作面的中心，DMD的工作面上包括n（n≥2）个处于“ON”状态的微镜扫描单元，DMD的工作面上的n个微镜扫描单元同时并行工作，其采集速度是单个微镜扫描单位采集速度的n倍，采集时间也缩短到原来的1/n，DMD上的多个微镜扫描单元可实现片上微观并行扫描，采集速度更是大大提高。
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公开(公告)号：CN116300052A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310173932.5
申请日：2023-02-28
Applicant: 西北工业大学宁波研究院 , 西北工业大学
Abstract: 本发明提供了一种反射镜阵列空间光调制器芯片结构及其加工方法，涉及微光机电系统技术领域，本发明由多组等间距排列的微镜单元组成；所述微镜单元包括第一基底和第二基底；所述第一基底上设置有扭转梁和电气绝缘层，所述扭转梁下方开设有背腔，沿所述扭转梁中心轴线在所述电气绝缘层上对称分布设置有第一寻址电极和第二寻址电极，所述第一寻址电极和所述第二寻址电极上分布设有接触凸点；所述第二基底用于供操作人员加工镜面，在所述镜面上设有用于连接所述扭转梁的镜面锚点。本方法能够克服微镜阵列在光谱成像系统中光场匹配性差、固有扭转方式和阵列形式导致目标光学信息采集丢失的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114112039A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111251319.8
申请日：2021-10-27
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统及方法，通过在DMD和分光子系统之间增加一个线型微镜阵列，控制其每个线型微镜单元偏转一定的角度，使得经线型微镜阵列反射后的出射光线可以在相同位置进入到分光子系统中，这样DMD微镜按列扫描所产生的色散光谱不再沿着一个方向进行偏移，而是分布在探测器工作面上的固定位置，从而大幅度减少色散光谱总长度，降低系统对大长宽比探测器工作面的需求。
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公开(公告)号：CN112268519A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011031304.6
申请日：2020-09-27
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种基于DMD的光谱成像目标检测方法及系统，该方法通过控制DMD对未知场景所成的像进行m次低分辨率全局粗略扫描(m≥1)，确定出p个有用目标的像在DMD工作面上的大致区域(p≥1)，减小微镜扫描的带宽，再对有用区域执行n次高分辨精细扫描(n≥1)，以获取足够的有用信息，实现未知场景中所有局部有用目标的检测与识别。
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公开(公告)号：CN114485936A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111659767.1
申请日：2021-12-31
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS光栅反射镜的光谱成像系统及方法，涉及光谱成像技术领域，本系统包括目标、成像子系统、DMD工作面、准直子系统、MEMS光栅反射镜工作面和探测器工作面；所述DMD工作面中每个所述微镜扫描单元处于偏转工作状态时将对应列的所述目标像反射至所述准直子系统中进行准直，得到的平行光入射到所述MEMS光栅反射镜工作面上进行分光；通过改变所述MEMS光栅反射镜工作面的偏转角度，使得经过MEMS光栅反射镜分光且反射得到的色散光谱入射至所述探测器工作面的相同区域。本系统能够解决色散光谱偏移，以及基于DMD的扫描式光谱成像系统中过度依赖大长宽比探测器面型、集成化水平不高的问题。
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公开(公告)号：CN114408854A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111541499.3
申请日：2021-12-16
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法，二维微机械双向扭转镜阵列包括电极基底以及设置在电极基底上的微镜单元，微镜单元包括微镜支撑结构层、通孔电极基底以及镜面结构层，微镜支撑结构层包括锚点、扭转梁、第一下电极以及第二下电极，通孔电极基底包括第一通孔电极、第二通孔电极以及第三通孔电极，第一通孔电极与第一下电极贴触，第二通孔电极与第二下电极贴触，所述第三通孔电极与锚点贴触，镜面结构层包括镜面以及镜面支撑结构，扭转梁通过其两端的锚点支撑并悬置于通孔电极基底上方，第一下电极和第二下电极关于扭转梁对称分布，改善了微镜阵列在光谱成像系统中的光场匹配性，简化了系统光路，促进了光谱成像系统小型化。
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公开(公告)号：CN114112039B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202111251319.8
申请日：2021-10-27
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统及方法，通过在DMD和分光子系统之间增加一个线型微镜阵列，控制其每个线型微镜单元偏转一定的角度，使得经线型微镜阵列反射后的出射光线可以在相同位置进入到分光子系统中，这样DMD微镜按列扫描所产生的色散光谱不再沿着一个方向进行偏移，而是分布在探测器工作面上的固定位置，从而大幅度减少色散光谱总长度，降低系统对大长宽比探测器工作面的需求。
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