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公开(公告)号：CN118712122B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411203584.2
申请日：2024-08-30
Applicant: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
IPC: H01L21/687 , H01L21/607 , H01L21/603
Abstract: 本发明涉及半导体产品加工设备技术领域，具体涉及一种热声键合机的联动式断线装置，主要解决现有热声键合机人工断线容易导致键合点不完整的技术问题。本装置设有底架、旋转架、第一驱动组件、夹线机构和第二驱动组件，通过第一驱动组件推拉旋转架能使旋转架转动，从而实现夹线机构的升降，夹线机构包括安装块，安装块设有固定夹线部，安装块上还安装有活动臂，活动臂设有活动夹线部，通过第二驱动组件推拉活动臂能够实现活动夹线部在夹线状态和避让状态之间的切换，如此通过第一驱动组件和第二驱动组件配合，能够实现夹线机构在夹线后上升，最终将引线扯断。本装置能够代替人工完成断线处理，不但节省了人力，而且能够保证键合点的完整。
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公开(公告)号：CN115050678B
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210964524.7
申请日：2022-08-12
Applicant: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
IPC: H01L21/677 , H01L21/60
Abstract: 本发明涉及引线键合设备上的送丝机构，具体为一种键合送丝自动适配机构，包括引线送丝固定板部件、引线检测部件、摆杆部件、虹吸机构和送丝线轴，其中引线检测部件固定在引线送丝固定板部件的顶部，两个摆杆部件分别设置在引线送丝固定板部件的两侧，其中一个摆杆部件上的夹紧轮和送丝轮之间存在间隙，另一个摆杆部件上的夹紧轮和引线送丝固定板部件上的夹紧轮存在间隙，一个拉簧的另一端连接在一个摆杆部件的夹紧轮轴上，另一个拉簧的另一端连接在另一个摆杆部件的夹紧轮轴上；送丝线轴、虹吸机构固定在引线送丝固定板部件上。本发明可同时实现细丝和粗丝的连续自动送丝，兼容性强，并可根据实际情况调节引线的冗余量，具有自动适配性。
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公开(公告)号：CN118712122A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202411203584.2
申请日：2024-08-30
Applicant: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
IPC: H01L21/687 , H01L21/607 , H01L21/603
Abstract: 本发明涉及半导体产品加工设备技术领域，具体涉及一种热声键合机的联动式断线装置，主要解决现有热声键合机人工断线容易导致键合点不完整的技术问题。本装置设有底架、旋转架、第一驱动组件、夹线机构和第二驱动组件，通过第一驱动组件推拉旋转架能使旋转架转动，从而实现夹线机构的升降，夹线机构包括安装块，安装块设有固定夹线部，安装块上还安装有活动臂，活动臂设有活动夹线部，通过第二驱动组件推拉活动臂能够实现活动夹线部在夹线状态和避让状态之间的切换，如此通过第一驱动组件和第二驱动组件配合，能够实现夹线机构在夹线后上升，最终将引线扯断。本装置能够代替人工完成断线处理，不但节省了人力，而且能够保证键合点的完整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115050678A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210964524.7
申请日：2022-08-12
Applicant: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
IPC: H01L21/677 , H01L21/60
Abstract: 本发明涉及引线键合设备上的送丝机构，具体为一种键合送丝自动适配机构，包括引线送丝固定板部件、引线检测部件、摆杆部件、虹吸机构和送丝线轴，其中引线检测部件固定在引线送丝固定板部件的顶部，两个摆杆部件分别设置在引线送丝固定板部件的两侧，其中一个摆杆部件上的夹紧轮和送丝轮之间存在间隙，另一个摆杆部件上的夹紧轮和引线送丝固定板部件上的夹紧轮存在间隙，一个拉簧的另一端连接在一个摆杆部件的夹紧轮轴上，另一个拉簧的另一端连接在另一个摆杆部件的夹紧轮轴上；送丝线轴、虹吸机构固定在引线送丝固定板部件上。本发明可同时实现细丝和粗丝的连续自动送丝，兼容性强，并可根据实际情况调节引线的冗余量，具有自动适配性。
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公开(公告)号：CN115863244A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211356374.8
申请日：2022-11-01
Applicant: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
IPC: H01L21/687 , H01L21/60 , H01L21/67 , H01L21/768
Abstract: 本发明属于集成电路器件制造领域，涉及一种用于深腔器件的芯片间引线键合工艺设备，包括大理石基准平台，在大理石基准平台上设置运动平台，包括有Y向移动导轨安装基座，Y向移动导轨安装基座上安装有Y向移动平台导轨，Y向移动平台导轨上设置有Y向移动滑块，Y向移动滑块的顶端面上设置有X向移动导轨安装基座，X向移动导轨安装基座上悬挂式安装有X向移动平台导轨，X向移动平台导轨上设置有X向移动滑块，X向移动滑块上固定有Z向连接板。本发明结构简单，容易实现，所占空间小，提高了引线键合工艺设备的键合精度，并且可以在具有一定深度的集成电路器件的腔体内完成引线键合工艺，增大了引线键合工艺设备的适用范围。
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公开(公告)号：CN217822659U
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202222053247.2
申请日：2022-08-05
Applicant: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
IPC: H01L21/603 , H01L21/67
Abstract: 本实用新型涉及一种应用在引线键合设备的压力施加机构，具体为一种分段式压力施加机构，包括机头固定块、弹性块，通过内六角圆柱头螺钉将弹性块与机头固定块固定，将第一应变片胶粘在弹性块的内桥梁处，将第二应变片胶粘在弹性块的外桥梁处，通过内六角圆柱头螺钉将换能器固定块与弹性块固定，将换能器伸入换能器固定块的孔内，通过内六角圆柱头螺钉锁定，将劈刀伸入换能器前端的孔内，通过平端紧定螺钉锁定，形成分段式压力施加机构。本实用新型带来的有益效果是，结构简单，可同时实现小量程高精度和大量程较低精度分段压力的施加，其设计思路也可用于其他类似分段施加压力需求的场合，设计结构具有可行性，设计思路具有通用性。
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公开(公告)号：CN217807405U
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202221980920.0
申请日：2022-07-29
Applicant: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
Abstract: 本实用新型涉及倒料装置，具体为一种电磁铁吸附方式的柔性倒料机构，解决了背景技术中的技术问题，其包括升降螺栓、连接块、电磁铁、磁铁罩桶和固定块，固定块连至连接块上，连接块中开有竖直通孔，竖直通孔的底端向内延伸有凸环，凸环与升降螺栓的螺栓头限位配合；磁铁罩桶罩在电磁铁上，磁铁罩桶顶部配合有磁铁罩盖，磁铁罩桶的底部延伸有用于提取TO型光器件的筒节；升降螺栓的螺杆部与电磁铁固定连接，螺杆部套设有伸缩弹簧。本实用新型解决了结构简单，实用方便，不仅可以对常规场合的TO型光器件进行倒料，还可以对特殊场合如点胶贴片未凝固状态的TO型光器件进行柔性倒料，具有通用性。
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公开(公告)号：CN218004775U
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202222161533.0
申请日：2022-08-17
Applicant: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
Abstract: 本实用新型涉及引线键合设备领域，具体为一种基于压电促动器的快速响应线夹，包括支架、线夹固定座、线夹本体、压缩弹簧和压电促动器，支架用于与设备主体连接；线夹固定座通过两个转轴安装在支架上，线夹本体安装在线夹固定座下侧；支架上安装有弹簧支架和压电促动器安装座，第一螺钉安装在线夹固定座并穿过弹簧支架上的第一间隙孔，压缩弹簧套在第一螺钉上，弹簧调节螺母装在第一螺钉端部；压电促动器一端与压电促动器安装座连接，另一端与第二螺钉连接。本实用新型控制压电促动器伸缩实现线夹打开，靠压缩弹簧复位的力实现线夹闭合，由于压电陶瓷变形具有响应时间短和运动速度快的特点，使线夹开合能快速响应，提高了引线键合的质量和速度。
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