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公开(公告)号：CN118915216A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410983562.6
申请日：2024-07-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种用于纳米位移测量的高级次衍射三角光栅及其制造方法，光栅微观结构为等腰三角形，具有对称的底角即闪耀角；三角光栅的闪耀角采用傅里叶变换法变换光栅栅齿结构得到，选择所需的光栅级次成为闪耀级次，以此求出三角光栅的闪耀角；通过光栅周期和闪耀角的匹配，实现对某一级次衍射光的衍射效率的设计；制造方法是先制造高精度三角光栅母版；然后基于高精度三角光栅母版，进行三角光栅复制，形成复制光栅；最后在复制光栅表面制备出高反射率的反射膜，从而形成用于纳米位移测量的高级次衍射三角光栅；本发明三角光栅能够显著增加高级次衍射光的衍射效率，使用三角光栅具有更高的位移分辨率和更高的测量精度，位移信号具有更高的信噪比。
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公开(公告)号：CN118913109A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410951227.8
申请日：2024-07-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于周期光场特征提取的纳米精度位移解析方法，入射光经光栅周期结构的透射或反射，形成周期光场；在进行多周期测量时，采用“三段式”位移测量：先通过计算指定点检测到的光斑数来测量第一段位移，通过设置检测区域，在检测区域内通过一个光场的周期，则后台探测器相应产生一个计数脉冲；再针对首末两端不足一个光栅周期的情况，通过对两端的像素点数来测量第二段位移；最后针对不足一个像素点周期的亚微米级位移，通过图像处理的方式，采用高斯峰值拟合定位光场的峰值线，通过亚像素点位移的细分测量，获得第三段位移；本发明提高光栅光场的位移解析精度。
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公开(公告)号：CN117383504A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311330249.4
申请日：2023-10-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于精密电铸三维互联金属微电极阵列及一体化成型方法，包括柔性膜衬底，柔性膜衬底正面制备有金属电极阵列，柔性膜衬底背面制备有金属引线，金属引线通过互联微电极结构和金属电极阵列连接；一体化成型方法是先清洗柔性膜衬底，再用提拉法对柔性膜衬底正反面匀胶，然后激光切割、加工通孔与对正标记，再用套刻技术对柔性膜衬底正反两面依次曝光，然后对柔性膜衬底正反两面进行同时显影，再进行种子层沉积、剥离工艺，最后进行精密化学电铸；本发明三维互联金属微电极一体化成型，层间电极互相良好，工艺简单。
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公开(公告)号：CN115950559A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211551722.7
申请日：2022-12-05
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了柔性应力传感垫片、基于垫片的应力监测系统和方法，所述柔性应力传感垫片，其特征在于，包括电连接的柔性应力传感垫片和数据和信号处理模块，所述柔性应力传感垫片包括依次连接的第一绝缘封装层、第一电极层、介电层、第二电极层和第二绝缘封装层；基于应力监测无线智能垫片系统，包括柔性应力传感垫片和数据和信号处理模块，所述数据和信号处理模块用于采集柔性电容传感垫片的电容值，并将模拟信号转换为数字信号，并将数字信号输出。该应力监测系统相较于现有人力监测方式，采用结构功能与感知能力一体化的设计思想，对垫片进行功能化设计，使垫片具有监测应力变化的功能。
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公开(公告)号：CN114900072A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210577148.6
申请日：2022-05-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02N11/00
Abstract: 本发明公开了一种基于热二极管的自供电装置和物联网分布式传感器节点，自供电装置包括正/反向热二极管，电极与N型/P型热电条，升压装置及储能装置。正/反向热二极管结构相同，均由预制有沟槽结构和凸台的低导热模具和高导热填料组成；热二极管的阵列形式及数目，低导热模具中预制的不同沟槽，填充的不同高导热填料，均直接影响自供电装置的服役性能。本发明中，即使是受限场景产生的长时非高温废热或者偏僻场景产生的短时高温废热，均可使毫米级外形尺寸的自供电装置持续数十分钟以上输出伏级电压，结构单元的集成性更高，在受限场景中的扩展性更强，在偏僻场景中的耐久性与可靠性更高，为复杂环境中物联网传感器节点的自供电提供了新思路。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109307475A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201811027296.0
申请日：2018-09-04
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种差频主动扫描式光栅位移传感器及测量方法，实现了以栅距差为基准的光栅测量，解决了宏微跨尺度测量中的高精度测量难题。本发明的具体实现方法为：将被测位移L分为Ln和Δl两部分，Ln的大小为n/4(n＝0,1,2,3…)倍的主光栅栅距P1，由光栅测量方法获取；Δl是被测位移L中不足P1/4的部分，首先记录Ln处主光栅读数单元和测量光栅读数单元信号的相位差 其次记录最终位置L处，两读数单元的信号相位差 最后通过微动元件使两个读数单元发生二次移动ΔL，使得信号的相位差由 恢复到 可得Δl＝(P1-P2)·ΔL/P2；最终可得被测位移值L＝Ln+Δl。本发明利用栅距差(P1-P2)作为测量基准，通过微动元件在P1/4的量程内获得了更高测量分辨率(大于微动元件分辨率)。
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公开(公告)号：CN106767600B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201611224322.X
申请日：2016-12-27
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种高精度同步监测旋转体转角及径向位移的系统，包括被测旋转体，被测旋转体上连接有二维栅式编码圆盘，二维栅式编码圆盘上设置有二维栅式编码器读数系统，二维栅式编码器读数系统的信号输出端和信号处理系统的信号输入端连接；二维栅式编码圆盘上制作有环形编码区，编码区内为周期栅式结构，具有径向周期和周向周期；二维栅式编码器读数系统内部包含两个读数模块，两个读数模块分别与周向周期与径向周期相对应，其读数方向分别沿周向、径向布置；信号处理系统包含两个读数通道和触发记录模块，在接收到转角计数比较模块发出的触发信号，同时记录周向、径向计数值输入的值，本发明实现对被测旋转体旋转角度及径向位移的同步监测。
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公开(公告)号：CN106365112B
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201610855215.0
申请日：2016-09-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于可重构柔性模具的曲面微米柱的制造方法，先获得具有背衬热塑性形状记忆聚合物可伸缩微单元阵列，浸没在磁性复合物涂层里获得顶端带有磁性复合物微冲头的可伸缩微单元阵列；然后使磁性复合物微冲头接触蘸取粘合剂获得表面覆盖有粘合剂涂层的磁性复合物微冲头，再通过蘸取获得表面覆盖有液滴状复合材料溶液的磁性复合物微冲头；加热使温度高于转变温度，塑性形状记忆聚合物可伸缩微单元在磁场的驱动下运动接触至曲面样品表面；预加热曲面样品，提拉模具获得曲面复合材料微米柱阵列；通过溶解粘附剂涂层分离模具获得曲面复合材料微米柱阵列；通过对可重构柔性模具加热处理，使其恢复到初始形貌，本发明制备方法简单，自适应性及可重构性高。
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公开(公告)号：CN107416763A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710710320.X
申请日：2017-08-18
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 复杂腔体内表面微纳结构的自适应随形制造方法，首先，将微纳结构制备在平面衬底上，再将平面衬底上的微纳结构复制到弹性体薄膜上，并在弹性体薄膜上制作气道，得到带有微纳结构的弹性体薄膜；然后，将弹性体薄膜制作成球状的弹性体模具；其次，将弹性体模具浸泡在压印胶里，使压印胶黏附在弹性体模具上，再将弹性体模具放入物体内腔，并用控制器控制充气装置给弹性体模具及其气道充气使弹性体模具逐渐膨胀，随形均匀与腔体内壁接触；最后，固化压印胶，排除弹性体模具内的气体并将其从物体内腔取出，即得到内表面有微纳结构图案的物体；本发明具有制备工艺简单、成本低、模具自适应腔体内壁形状等优点。
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公开(公告)号：CN104914487B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201510344747.3
申请日：2015-06-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种可增强光反射柔性薄膜的制造方法，先制备干法刻蚀所需要的金属掩蔽层，然后通过调控刻蚀参数制备倒锥柱阵列硅模具，最后翻模制备倒锥孔阵列柔性薄膜，将疏水处理过的倒锥柱阵列硅模具固定在衬底上，将垫层固定在倒锥柱阵列硅模具的两侧，用聚合物完全涂覆在倒锥柱阵列硅模具表面，然后真空处理去除聚合物中夹杂的气泡；再使用压板挤压聚合物，然后将压板、聚合物、垫层、倒锥柱阵列硅模具、衬底整个加热，使聚合物固化；再分离聚合物和倒锥柱阵列硅模具，获得聚合物倒锥孔阵列柔性薄膜，聚合物倒锥孔阵列柔性薄膜具有优良的弹性性能，通过施加外力驱使其变形实现反射率的调控；通过多层叠加或不同顺序的组合实现薄膜反射率的调控。
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