一种柔性集成气体传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN117805191A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311852960.6

    申请日:2023-12-29

    Abstract: 本发明公开了一种柔性集成气体传感器及制备方法,所述柔性集成气体传感器包括底层碳基衬底,底层碳基衬底上表面贴设有叉指电极基片,底层碳基衬底上位于叉指电极基片上端阵列有传感器阵列单元结构,传感器阵列单元结构上端设置有顶层碳基/膨体聚四氟乙烯/碳基(C/e‑PTEF/C)复合衬底,本申请分别采用底层碳基衬底和顶层碳基/膨体聚四氟乙烯/碳基(C/e‑PTEF/C)复合衬底作为底层和顶层,形成耐高温封装防护结构,本发明不仅可有效阻挡爆炸、火灾等产生的烟尘对传感器气敏单元的污染,在常温环境下,也可有效隔绝空气中湿气和灰尘等因素对气敏单元的影响,有利于保证传感器的测量精度和性能稳定性。

    基于双层Janus薄膜的柔性压阻式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118794577A

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202410975754.2

    申请日:2024-07-19

    Abstract: 本发明公开了一种基于双层Janus薄膜的柔性压阻式压力传感器及其制备方法,包括依次叠加设置的插指电极、阻隔层、第一Janus导电层、间隔层和第二Janus导电层,阻隔层、第一Janus导电层、间隔层和第二Janus导电层表面均设置有锥结构,通过设置锥结构可以极大的提高传感器的灵敏度,双层导电层结构在较小力作用下,下层的第一Janus导电层与插指电极先接触,随着压力的不断增加下,第一Janus导电层和第二Janus导电层开始接触,第二Janus导电层也开始导通,整个压力敏感层的电阻从单一的导电层与插指电极的接触电阻变为双层导电层之间以及下层导电层与插指电极的并联,从而增加了量程范围。

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