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公开(公告)号：CN111504219A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010368586.2
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
Abstract: 一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L-悬臂梁，L-悬臂梁、第一支撑梁、第二支撑梁、第一基座及第二基座顶部正中开设有凹槽，光纤粘贴于凹槽正中位置，光纤悬空处分别刻有少模光纤光栅和光纤光栅；少模光纤与单模光纤形成F-P腔，通过对F-P腔和少模光纤光栅信号的联合解调，得到温度和应变信号；在测量振动时，L-悬臂梁产生受迫振动，压缩或拉伸光纤光栅，通过对光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，即可排除温度信号的干扰，得到振动信号。本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN111504219B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202010368586.2
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01B11/16 , G01H9/00 , G01K11/3206 , G01K1/14
Abstract: 一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L‑悬臂梁，L‑悬臂梁、第一支撑梁、第二支撑梁、第一基座及第二基座顶部正中开设有凹槽，光纤粘贴于凹槽正中位置，光纤悬空处分别刻有少模光纤光栅和光纤光栅；少模光纤与单模光纤形成F‑P腔，通过对F‑P腔和少模光纤光栅信号的联合解调，得到温度和应变信号；在测量振动时，L‑悬臂梁产生受迫振动，压缩或拉伸光纤光栅，通过对光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，即可排除温度信号的干扰，得到振动信号。本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN111504220A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010368587.7
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
Abstract: 一种光纤光栅温度/振动/应变复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L-悬臂梁；光纤粘贴于传感器顶部的凹槽中，光纤悬空处分别刻有第一光纤光栅和第二光纤光栅；测量振动时，L-悬臂梁产生受迫振动，并作用于第二光纤光栅，通过对第二光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，得到振动和温度信号；测量应变时，在应变的作用下第一光纤光栅产生压缩或拉伸，测量第一光纤光栅输出信号得到应变信号，同时由得而光纤光栅测量得到的温度用于对应变信号进行温度补偿；本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN116930287A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310896202.8
申请日：2023-07-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/327 , G01N27/49
Abstract: 本发明属于葡萄糖传感器领域，公开了一种电化学葡萄糖传感器的核壳结构型工作电极及制备方法，包括：在基底上依次溅射金膜和ZnO薄膜，得到预处理基底；将预处理基底置于ZnO生长溶液中，采用水浴法在ZnO薄膜上生长ZnO纳米花，然后采用原子层沉积技术在ZnO纳米花上沉积AZO薄膜，得到AZO‑ZnO纳米花核壳结构；在AZO‑ZnO纳米花核壳结构上固化葡萄糖氧化酶，得到电化学葡萄糖传感器的核壳结构型工作电极。通过在ZnO纳米花上采用原子层沉积技术工艺制备AZO薄膜，形成了由AZO修饰的的核壳结构型工作电极，增强了功能化表面的电子传输性能，提高了工作电极的电子传输效率，能够在稳定酶吸附的基础上实现电子的快速传输，可用于制备高性能的电化学葡萄糖传感器。
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公开(公告)号：CN111313756B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202010239455.4
申请日：2020-03-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开一种机械整流式压电悬臂梁振动能量收集器，能量收集器包括底座、固定于底座的固支端、固支于固支端的压电悬臂梁、附加在压电悬臂梁尖端的质量块以及电极支架，质量块的上下表面分别设置有上活动电极和下活动电极，上活动电极和下活动电极分别与压电悬臂梁的两个引线连接；电极支架固定于底座上，电极支架上从上至下设置有上固定电极、中固定电极和下固定电极，上固定电极位于上活动电极的上方，中固定电极位于上活动电极和下活动电极之间，下固定电极位于下活动电极的下方，上固定电极和下固定电极相连。本发明能够使振动产生的压电交变电流通过机械整流器转换为直流电，避免了传统电子整流器的压降。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112114285A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202011039583.0
申请日：2020-09-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请实施例提供一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法，属于微纳米级精密测量技术领域。包括：基底，所述基底上设置有指引区域与校准区域；所述指引区域包括：指引图案与至少两个凹坑；所述校准区域包括：与每个凹坑配套的标准样板，所述标准样板安装于所述凹坑上；所述指引图案设置于所述凹坑周围，用于在测量仪器对所述标准样板进行定位时，对所述测量仪器的定位起到指示作用。使用本申请提供的包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法，可以在保证校准精度的同时，提高校准效率。
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公开(公告)号：CN110793433B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201910920159.8
申请日：2019-09-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法，用于实现在线校准，样板包括中心工作区域及第一、第二循迹区域；通过所述微纳米台阶高度标准样板的第一循迹区域和第二循迹区域内的等腰三角形循迹标识的指向配合设计单位标识确定样板的摆放方向与中心工作区域位置；通过所述中心工作区域内台阶结构左右两侧区域设置的四种循迹定位参考图形快速定位台阶结构位置，通过台阶结构两边对称设置的校准定位块快速定位台阶测量位置，完成整个定位过程。该样板上的台阶结构是在晶圆片上直接制备，并且台阶测量区域可通过循迹标记快速定位，因此该发明实现了对微电子集成电路产线中纳米测量仪器的在线溯源校准工作，大大提高了仪器校准效率。
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公开(公告)号：CN117805191A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311852960.6
申请日：2023-12-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性集成气体传感器及制备方法，所述柔性集成气体传感器包括底层碳基衬底，底层碳基衬底上表面贴设有叉指电极基片，底层碳基衬底上位于叉指电极基片上端阵列有传感器阵列单元结构，传感器阵列单元结构上端设置有顶层碳基/膨体聚四氟乙烯/碳基(C/e‑PTEF/C)复合衬底，本申请分别采用底层碳基衬底和顶层碳基/膨体聚四氟乙烯/碳基(C/e‑PTEF/C)复合衬底作为底层和顶层，形成耐高温封装防护结构，本发明不仅可有效阻挡爆炸、火灾等产生的烟尘对传感器气敏单元的污染，在常温环境下，也可有效隔绝空气中湿气和灰尘等因素对气敏单元的影响，有利于保证传感器的测量精度和性能稳定性。
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公开(公告)号：CN117761257A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311787014.8
申请日：2023-12-22
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
IPC: G01N33/00 , D06M11/74 , D06M11/42 , D06M11/44 , D06M101/34
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米线阵列的柔性织物气体传感器及其制备方法，以具有良好抗弯曲拉伸能力的尼龙纤维作为传感器的基底，在尼龙纤维表面附着RGO薄膜，不仅可以使尼龙纤维获得优异的导电性，也可以作为ZnO‑NWs阵列的生长基底，而在RGO薄膜表面生长的ZnO‑NWs阵列结构可以作为复合材料的附着基底，形成基于纳米线阵列的柔性织物NO2气体传感器，建立一种传感器电阻和不同NO2气体浓度之间的变化关系，进而实现对NO2气体的室温检测。使用P型CuO纳米材料对同样为P型的RGO材料进行掺杂修饰改性，两种电学性质、功能函数等不同的半导体材料会形成特殊的气敏结构单元(P‑P异质结构)，可以有效提高气敏材料的催化氧化活性，有利于改善传感器对NO2气体的室温响应特性。
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公开(公告)号：CN117761133A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311787878.X
申请日：2023-12-22
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
IPC: G01N27/30 , B05D7/24 , G01N27/416
Abstract: 本发明公开了一种基于多层异质薄膜结构的气体传感器及其制备方法，属于低浓度二氧化氮气体室温检测和柔性可穿戴领域，通过在柔性基底上设置柔性叉指电极，然后利用涂覆工艺生长形成基底薄膜，能够确保整体结构的柔性，适合穿戴，同时在生长基底薄膜上设置ZnO‑NWs阵列层，能够提高检测范围以及检测精度；本申请制备得到的多层异质薄膜结构的气体传感器，基于ZnO‑NWs阵列生长复合气敏薄膜，采用ZnO‑NWs阵列，具有更大的比表面积，应用在气体传感器中作为气敏材料的附着基底，可有效增大气敏薄膜的表面积，进而有利于提升传感器的气敏特性。
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