蒸镀设备与蒸镀方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104060226A

    公开(公告)日:2014-09-24

    申请号:CN201310359451.X

    申请日:2013-08-16

    Abstract: 本发明提供了一种蒸镀设备,用以对一基板进行蒸镀。该蒸镀设备包括一加热器、一源材料载具以及多个源材料图案层。源材料载具具有沿着一第一方向并排排列的多个源材料配置区,且源材料配置区彼此间隔一距离。在蒸镀设备进行蒸镀时,沿着第一方向排列的源材料配置区依次地位移至基板与加热器之间。源材料图案层分别设置于源材料配置区中。相邻两个源材料配置区中的两个源材料图案层具有不同材质以及不同的尺寸。此外,本发明还提出一种蒸镀方法,以及一种具有屏蔽构件的蒸镀设备。

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