公开(公告)号：CN117187729A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311107196.X

申请日：2023-08-30

Applicant: 郑州大学 ,  郑州郑涂新材料科技有限公司

Inventor： 李禹静 ,  杨凯军 ,  朱锦鹏 ,  李庆奎 ,  张亚宁 ,  田金玉 ,  陈冲 ,  徐晓晴 ,  孙本双 ,  何季麟

IPC: C23C4/10 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C4/134 ,  C23C4/073 ,  C23C4/18 ,  C23C4/02

Abstract: 本发明涉及一种氧化钼靶材的制备方法，属于陶瓷靶材技术领域。所述方法通过将氧化钼混合粉末，粘结剂和水经球磨，喷雾干燥，热处理，过筛后，制得混合粉体；用特定的大气等离子喷涂工艺将混合粉体喷涂在具有NiCrCoAlY粘结层的基底上，制得半成品靶材，再进行热处理，机械加工制备得到所述氧化钼靶材。所述方法采用大气等离子喷涂结合热处理的方法，通过控制具体的制备条件参数，能稳定制备能稳定制备不受尺寸及空间限制的大尺寸氧化钼靶材。

公开(公告)号：CN117125982A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202311127578.9

申请日：2023-09-04

Applicant: 郑州大学

Inventor： 杨凯军 ,  徐晓晴 ,  李庆奎 ,  吴小超 ,  李禹静 ,  朱锦鹏 ,  孙本双 ,  王成铎 ,  何季麟

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/622 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明公开了一种钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法。该制备方法包括：S1、煅烧钼酸铵得到MoO3粉末；S2、MoO3粉末与氢气发生反应，得到非化学计量比钼氧化物粉体；非化学计量比钼氧化物粉体中，Mo9O26的质量含量为0％～99％，Mo4O11的质量含量为20％～86％，MoO2的质量含量为0％～40％；S3、非化学计量比钼氧化物粉体模压成型；S4、成型的非化学计量比钼氧化物粉体在设定条件下烧结，得到特定钼氧比的非化学计量氧化钼靶材，其中，钼原子与氧原子比为1：2～3。本发明公开的钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法，其制备工艺简单，反应条件可控，制备得到的非化学计量氧化钼靶材致密性好。