公开(公告)号：CN104246017A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380014226.0

申请日：2013-02-28

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 吉崎了 ,  武井瑞树 ,  安江秀国

IPC: C23G1/10 ,  C23F1/00 ,  G03F7/09 ,  H01L21/027

CPC classification number: C23C22/52 ,  G03F7/16 ,  H05K3/06 ,  H05K2203/0392 ,  H05K2203/0789

Abstract: 本发明涉及一种抗蚀剂密合性提高剂，其含有有机酸1.5重量％～20重量％、氯离子0.0007重量％～0.73重量％、铵离子0.00003重量％～3.7重量％和其余部分的水，且氯离子相对于铵离子的摩尔浓度比在0.1～10的范围；以及涉及一种铜配线制造方法，其中，在铜膜上形成感光性抗蚀膜时，利用该抗蚀剂密合性提高剂对铜膜表面进行处理，然后在铜膜上形成感光性抗蚀膜。由此，感光性抗蚀剂与铜膜表面的密合性变好。

公开(公告)号：CN1875326A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200480032334.1

申请日：2004-10-28

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 西岛佳孝 ,  松本昌岳 ,  安江秀国 ,  武井瑞树

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: C11D7/3263 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/425 ,  H01L21/31133

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂剥离用组合物，该组合物包含具有羟基的有机伯胺或有机仲胺与碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、γ－丁内酯、1，3－二羟基－2－丙酮、或一元或二元羧酸的反应产物，该组合物根据需要还可包含有机胺、水溶性有机溶剂和/或水。该组合物能够高性能地剥离光致抗蚀剂并可防止金属配线材料的腐蚀。通过使用该组合物，在剥离之后以水冲洗的过程中不会产生诸如不溶物析出并粘附至基板等问题。