具有带传导性互连件的密封件的热风速仪流量传感器装置

    公开(公告)号:CN101769772A

    公开(公告)日:2010-07-07

    申请号:CN200910266226.5

    申请日:2009-12-22

    CPC classification number: G01F1/6845 G01F1/692 G01F15/14

    Abstract: 本发明涉及具有带传导性互连件的密封件的热风速仪流量传感器装置,具体而言,提供了一种流量传感器装置和方法。本发明提供了一种带有传导性互连件的密封件,该密封件包括安装在外壳上的质量流量传感元件,质量流量传感元件包含厚膜和/或薄膜桥接结构,用于感测流量管中的介质(例如质量流)。这种密封件有效地将丝焊焊盘及电气连接与所感测的介质隔离开。无论是液体或气体的介质都可能包含离子,其最终会污染质量流量传感元件的顶部。带有传导性互连件的密封件的使用因而密封住电气连接,并防止了暴露于所感测的介质。

    压力传感器方法和设备

    公开(公告)号:CN101657709A

    公开(公告)日:2010-02-24

    申请号:CN200880011827.5

    申请日:2008-04-11

    Abstract: 一种压力传感器设备和成形所述压力传感器设备的方法。提供一种包括顶侧和底侧的基板201(例如印刷电路板)。压力换能器(243)可被直接结合到基板(201)的顶侧上,其中所述基板包括形成电镀通孔(553)的基板壁,所述通孔允许被感测到的介质通过从而与压力换能器(243)的背面接触。此后,带有一体端口(551)的金属支座(504)被结合到基板(201)的底侧上,由此形成采用板上芯片封装工艺的压力传感器(500),这样就消除了进行电镀或涂覆从而允许压力换能器(243)与金属支座(504)之间粘附的需求。压力换能器例如可包括硅或者结合到玻璃上的硅。金属支座可设有与阀门例如施克拉德阀紧密配合的功能部件。

    具有调节系数存储器的流量传感器

    公开(公告)号:CN101490514A

    公开(公告)日:2009-07-22

    申请号:CN200780027117.7

    申请日:2007-05-14

    CPC classification number: G01F25/0007 G01F15/022

    Abstract: 一种传感器,其包括耦合到信号调节集成电路的一个或多个传感换能器,其中信号调节集成电路包括信号调节电路和用于存储终端用户可下载系数的存储器。在优选实施例中,该集成电路是专用集成电路,该终端用户可下载系数由终端用户基于需要而预先选定,当校准传感器时将这些系数预先存储到专用集成电路中。从而获得一种相对于现有技术为成本低、体积小且功能改善的传感器装置。

    具有集成旁路通道的流量传感器组件

    公开(公告)号:CN102645249A

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201210087916.6

    申请日:2012-01-31

    CPC classification number: G01F1/68 G01F1/6842 G01F1/6845 G01F5/00 G01F15/185

    Abstract: 本发明涉及具有集成旁路通道的流量传感器组件,具体公开了具有提高的流量范围能力的流量传感器组件(38)。在一个示例性实施例中,流量传感器组件(38)包括外壳(40),其具有入口流端口(88)、出口流端口(90)、在入口流端口和出口流端口之间延伸的流体通道(12)、以及旁路通道(62),旁路通道具有在分开的位置流体地连接到流体通道的一对龙头(64)。流量传感器(10)可以定位在旁路通道中,用于感测关于流过流体通道的流体的流率的测量值。旁路通道的两个龙头之间的压力差驱动流过流体通道的流体的一部分通过旁路通道。流量传感器组件可以构造成实现、控制和/或平衡通过旁路通道和经过流量传感器的流体流的期望部分。

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