半导体氧化膜椭偏振幅传感装置及测量方法

    公开(公告)号:CN118974540A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202380026654.9

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本发明的一实施例提供不使用需要复杂的驱动装置的旋转检光子或偏振调制装置而只测量满足p波和s波抗反射条件的半导体氧化膜和p波、s波的反射率就能够简便且高灵敏度地获得椭偏测量信号的半导体氧化膜椭偏振幅传感装置及测量方法。本发明的实施例的半导体氧化膜椭偏振幅传感装置包括:微流路结构单元,包括:支撑台,介电体薄膜,形成在支撑台之上形成的衬底之上,盖部,设置在支撑台之上,且在其一侧和另一侧分别具有入射窗和反射窗,以及微流路,是通过盖部和支撑台结合而形成的流路;样品注入部,用于向微流路注入含有生物材料的样品的缓冲溶液,以使在介电体薄膜上形成样品的吸附层;偏振发生部,以使偏振的入射光穿过入射窗以满足p波或s波抗反射条件的入射角(θ)照射至吸附层;以及偏振检测部,用于将被吸附层反射并穿过反射窗的反射光分离为p波和s波的反射率并进行测量,以检测出椭偏测量振幅角。

    单偏振器聚焦光束椭偏计

    公开(公告)号:CN101715539A

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200880021195.0

    申请日:2008-11-11

    CPC classification number: G01B11/0641 G01N21/211 G01N2021/213

    Abstract: 本发明涉及一种单偏振器聚焦光束椭偏计,更具体地涉及一种具有简化结构的聚焦光束椭偏计,在该简化结构中,单个偏振分束器起着起偏器、分束器和偏振分析器的作用。在采用的测量方法中,多入射面测量方法被应用于多入射角,因此可以分析试样的光学性质的准确信息,即,薄膜情况下该薄膜的厚度和折射率。

    基于梯形入射结构棱镜入射型硅的液浸微通道测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN110023739B

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN201680091283.2

    申请日:2016-12-15

    Abstract: 本发明涉及基于梯形入射结构棱镜入射型硅的液浸微通道测量装置及测量方法,并且根据本发明的一个实施方式,该装置包括微通道结构,包括支撑体和形成在支撑体上并具有固定有用于检测第一样本的第一生物粘附材料的样本检测层的至少一个微通道;形成在微通道结构的上部上的截顶金字塔形棱镜;将包含第一样本的缓冲溶液注入微通道的样本注入单元;以满足p波非反射条件的入射角将通过棱镜偏振的入射光发射到微通道上的偏振光产生单元;以及检测偏振入射光中从样本检测层反射的第一反射光的偏振变化的偏振光检测单元,其中棱镜在棱镜的上界面对入射到棱镜上的偏振入射光中的从棱镜的下边界面和注入微通道的缓冲溶液的边界面反射的第二反射光全反射。

    多重反射液浸硅基微流路测定装置及测定方法

    公开(公告)号:CN115461608A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202080100193.1

    申请日:2020-09-21

    Abstract: 本发明一实施例提供的多重反射液浸硅基微流路测定装置及测定方法通过多重反射使得从试样检测层反射的第一反射光与从棱镜‑缓冲溶液界面反射的第二反射光完全分离并通过多重反射实现多次入射来放大测量灵敏度。本发明实施例的多重反射液浸硅基微流路测定装置包括:微流路结构体,由支架和至少一个微流路组成,微流路形成在支架上,在微流路形成有试样检测层,在试样检测层固定有用于检测试样的生物结合物质;试样注入部,用于向微流路注入包含试样的缓冲溶液;棱镜单元,设置有棱镜及反射体,反射体通过在棱镜的底面涂敷反射镜面来形成;偏振光发生部,用于发生偏振光(polairzed light);以及偏振光检测部,用于检测反射光的偏振光变化。

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