制造光学衬底中的结构
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100523885C

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200580044484.9

    申请日:2005-11-04

    CPC classification number: G02B6/02138 G02B6/02133 G02B6/02152

    Abstract: 一种用于制造光学衬底(54)中的结构(52)的系统和方法。光学元件(80)产生第一和第二写光束(110,112),其在光学衬底(54)的第一相交位置(112)处相交。第一相交位置(118)包括由第一和第二写光束(110,112)所产生的条纹图(52)。该光学元件(80)也产生第一和第二参考光束(114,116),其在与第一相交位置(118)基本上同一平面内的第二相交位置(119)处相交并重新组合。然后,控制器基于从重组第一和第二参考光束(114,116)得到的信号来控制在光学衬底(54)和条纹图之间的相对定位。

    用于制造具有亚微米和微米特征的三维结构的方法和系统

    公开(公告)号:CN101903976A

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200880122040.6

    申请日:2008-12-02

    CPC classification number: G03F7/20 G03B27/52 G03F7/2035

    Abstract: 本发明提供了用于制造具有微米或亚微米特征的三维(3D)结构的方法和系统。该方法包括提供连续地形成的浮雕结构化材料,浮雕结构化材料具有第一层,第一层包含具有在其第一表面上形成的浮雕结构图案的材料。结构化材料包括在第一层上设置的含有光敏材料的第二层。使浮雕结构化材料曝光于穿过第一层的辐射,其中在第一层的第一表面上形成的浮雕结构图案产生在第二层上入射的辐射的三维光强图案。将曝光材料显影,其中显影材料包括多个具有微米或亚微米特征的3D结构。

    制造光学衬底中的结构
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101088036A

    公开(公告)日:2007-12-12

    申请号:CN200580044484.9

    申请日:2005-11-04

    CPC classification number: G02B6/02138 G02B6/02133 G02B6/02152

    Abstract: 一种用于制造光学衬底(54)中的结构(52)的系统和方法。光学元件(80)产生第一和第二写光束(110,112),其在光学衬底(54)的第一相交位置(112)处相交。第一相交位置(118)包括由第一和第二写光束(110,112)所产生的条纹图(52)。该光学元件(80)也产生第一和第二参考光束(114,116),其在与第一相交位置(118)基本上同一平面内的第二相交位置(119)处相交并重新组合。然后,控制器基于从重组第一和第二参考光束(114,116)得到的信号来控制在光学衬底(54)和条纹图之间的相对定位。

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