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公开(公告)号：CN100523885C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200580044484.9
申请日：2005-11-04
Applicant: 3M创新有限公司
Inventor： 利文特·伯耶克勒 , 杰罗姆·C·波尔凯 , 詹姆士·M·巴蒂亚托 , 大卫·B·斯特高尔
IPC: G02B6/02
CPC classification number: G02B6/02138 , G02B6/02133 , G02B6/02152
Abstract: 一种用于制造光学衬底(54)中的结构(52)的系统和方法。光学元件(80)产生第一和第二写光束(110，112)，其在光学衬底(54)的第一相交位置(112)处相交。第一相交位置(118)包括由第一和第二写光束(110，112)所产生的条纹图(52)。该光学元件(80)也产生第一和第二参考光束(114，116)，其在与第一相交位置(118)基本上同一平面内的第二相交位置(119)处相交并重新组合。然后，控制器基于从重组第一和第二参考光束(114，116)得到的信号来控制在光学衬底(54)和条纹图之间的相对定位。
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公开(公告)号：CN101578560A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200780049544.5
申请日：2007-12-19
Applicant: 3M创新有限公司
IPC: G05D3/12
CPC classification number: B65H23/1882 , B65H23/0216 , B65H23/032 , B65H2511/512 , B65H2557/10 , G03F9/00 , G06T7/70 , G06T2207/30124 , G06T2207/30204
Abstract: 本发明描述了用于确定长条状幅材的纵向位置的方法和系统。传感器用于检测纵向设置在所述幅材上的一个或多个基本上连续的准标。传感器生成与所述准标相关的信号。定位检测器接收所述信号并使用所述传感器信号确定所述幅材的纵向定位。所述准标可以为周期性的准标，例如在所述幅材上的正弦和/或余弦标记和/或可以为分段连续的标记。所述幅材的所述粗略纵向定位可以根据所述准标的周期性重现特征确定。所述精细纵向定位可以根据在所述周期性重现特征之间的所述准标的连续部分确定。
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公开(公告)号：CN101688794B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN200880021241.7
申请日：2008-06-18
Applicant: 3M创新有限公司
CPC classification number: G02B5/124 , G01D5/34707 , G03F7/0005
Abstract: 本发明描述了一种用于在基底上形成包括全内反射棱镜的位移刻度尺的方法和系统。用于形成所述位移刻度尺的系统包括一个或多个具有负突起形式的全内反射(TIR)棱镜特征物图案的辊。当所述辊旋转时，所述刻度尺在所述基底上形成。所述辊还可以包括负突起形式的图案特征。旋转所述辊在所述基底上同时形成所述位移刻度尺和所述图案特征。可取向所述位移刻度尺的所述全内反射棱镜特征从而提供横向位移、纵向位移和角位移的一个或多个的测量。
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公开(公告)号：CN102460306A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080032175.0
申请日：2010-05-13
Applicant: 3M创新有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03B27/54 , G03F7/70791
Abstract: 本发明公开了一种方法，其包括提供具有感光材料层的基底以及具有邻接的第一、第二和第三部分的掩模；并顺序地：i)用光束以第一速率扫描所述第一部分，随后入射在曝光区处的感光材料上；ii)在所述第二部分内固定扫描；iii)重新开始穿过所述第三部分的扫描。在整个工艺过程中，所述基底经过所述曝光区移动。本发明还公开一种执行所述工艺的设备，其包括光束源、掩模安装座、掩模台、输送组件以及用于将光束调控为矩形光束的至少一个光学元件。
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公开(公告)号：CN102036908A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200980118733.2
申请日：2009-05-07
Applicant: 3M创新有限公司
CPC classification number: G02B6/0065 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G02B6/0035 , G03F7/0002 , G03F7/70083
Abstract: 本发明涉及用于制备模具的方法，所述模具可随后用来制备微结构化制品。本文详述的所述方法描述了在基材上形成微结构化模具结构以产生母模，这些微结构化模具结构以图案形成微结构化阵列。所述方法包括提供部分透明的基材，所述基材在第一表面上涂覆有可光聚合液体。然后可以用所产生的所述母模制备复制模具，继而可用所述复制模具制备光导。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101680780A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880021043.0
申请日：2008-06-18
Applicant: 3M创新有限公司
CPC classification number: G01B11/024 , B65H23/0216 , B65H23/046 , G01D5/30 , G01D5/34707 , G02B5/045
Abstract: 本发明描述了使用包括TIR刻度特征物的刻度尺用于确定基底位移的方法和系统。包括作为刻度尺元件的多个全内反射(TIR)棱镜的刻度尺被设置在基底上。被导向刻度尺的光由TIR棱镜调制。根据已调制光产生指示基底的位移的信号。信号可以用于确定幅材位置、控制幅材的移动、和/或测量多种幅材参数。
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公开(公告)号：CN101678977A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880021223.9
申请日：2008-06-18
Applicant: 3M创新有限公司
IPC: B65H23/032
CPC classification number: B65H23/0204 , B65H23/046 , B65H2220/03 , B65H2401/2311 , B65H2511/216 , B65H2511/512 , B65H2515/31 , B65H2515/37 , B65H2553/40 , B65H2701/1712 , B65H2701/1752 , B65H2220/01
Abstract: 本发明公开了一种用于指示柔性幅材的位移的方法和系统。细长、柔性幅材包括具有被构造用于调节导向所述幅材的能量的刻度部件的一体化刻度。输送装置提供所述幅材相对于传感器的相对移动。所述传感器检测由所述刻度部件调节的能量并且基于所述调节的能量产生连续幅材位移的指示的信号。
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公开(公告)号：CN102460306B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201080032175.0
申请日：2010-05-13
Applicant: 3M创新有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03B27/54 , G03F7/70791
Abstract: 本发明公开了一种方法，其包括提供具有感光材料层的基底以及具有邻接的第一、第二和第三部分的掩模；并顺序地：i)用光束以第一速率扫描所述第一部分，随后入射在曝光区处的感光材料上；ii)在所述第二部分内固定扫描；iii)重新开始穿过所述第三部分的扫描。在整个工艺过程中，所述基底经过所述曝光区移动。本发明还公开一种执行所述工艺的设备，其包括光束源、掩模安装座、掩模台、输送组件以及用于将光束调控为矩形光束的至少一个光学元件。
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公开(公告)号：CN101678977B
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN200880021223.9
申请日：2008-06-18
Applicant: 3M创新有限公司
IPC: B65H23/032
CPC classification number: B65H23/0204 , B65H23/046 , B65H2220/03 , B65H2401/2311 , B65H2511/216 , B65H2511/512 , B65H2515/31 , B65H2515/37 , B65H2553/40 , B65H2701/1712 , B65H2701/1752 , B65H2220/01
Abstract: 本发明公开了一种用于指示柔性幅材的位移的方法和系统。细长、柔性幅材包括具有被构造用于调节导向所述幅材的能量的刻度部件的一体化刻度。输送装置提供所述幅材相对于传感器的相对移动。所述传感器检测由所述刻度部件调节的能量并且基于所述调节的能量产生连续幅材位移的指示的信号。
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公开(公告)号：CN101578560B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200780049544.5
申请日：2007-12-19
Applicant: 3M创新有限公司
IPC: G05D3/12
CPC classification number: B65H23/1882 , B65H23/0216 , B65H23/032 , B65H2511/512 , B65H2557/10 , G03F9/00 , G06T7/70 , G06T2207/30124 , G06T2207/30204
Abstract: 本发明描述了用于确定长条状幅材的纵向位置的方法和系统。传感器用于检测纵向设置在所述幅材上的一个或多个基本上连续的准标。传感器生成与所述准标相关的信号。定位检测器接收所述信号并使用所述传感器信号确定所述幅材的纵向定位。所述准标可以为周期性的准标，例如在所述幅材上的正弦和/或余弦标记和/或可以为分段连续的标记。所述幅材的所述粗略纵向定位可以根据所述准标的周期性重现特征确定。所述精细纵向定位可以根据在所述周期性重现特征之间的所述准标的连续部分确定。
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