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公开(公告)号：CN107857479B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201710859740.4
申请日：2017-09-21
Applicant: AGC株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 本发明提供一种玻璃板。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且提高玻璃板的朝向判断性。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。利用作为反应气体的氟化氢气体对第2主表面(20)进行蚀刻并且利用滞留气体(G)对第1端面(30)也进行蚀刻。其结果，第1主表面(10)的第1表面粗糙度小于第2主表面(20)的第2表面粗糙度，第1端面(30)的第1碎玻璃剥离率大于第2端面(40)的第2碎玻璃剥离率，由此，防止吸附于载物台的第2主表面(20)的剥离带电，容易利用第1端面(30)的表面粗糙化判断玻璃板(1)的方向性。
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