公开(公告)号：CN118922921A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202380029994.7

申请日：2023-03-20

Applicant: 国立大学法人东海国立大学机构 ,  AGC株式会社

Inventor： 堀胜 ,  小田修 ,  阿伦·库玛尔·达响 ,  林笃 ,  青峰信孝

IPC: H01L21/365 ,  C23C14/08 ,  C23C16/40 ,  C30B29/16

Abstract: 本发明提供一种使结晶性优异且平坦性优异的氧化镓外延生长的氧化镓膜的制造装置。制造装置(1000)具有：反应室(1100)、位于反应室(1100)的内部的基板配置部(1200)、向基板配置部(1200)供给Ga的镓元素供给装置(1300)、向基板配置部(1200)供给氧构成粒子的氧元素供给装置(1400)、以及向氧元素供给装置(1400)供给包含氧和臭氧的混合气体的混合气体供给装置(1800)。氧元素供给装置(1400)具有将混合气体等离子体化的等离子体产生部。

公开(公告)号：CN118922920A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202380029909.7

申请日：2023-03-20

Applicant: 国立大学法人东海国立大学机构 ,  AGC株式会社

Inventor： 堀胜 ,  小田修 ,  阿伦·库玛尔·达响 ,  林笃 ,  青峰信孝

IPC: H01L21/365 ,  C23C14/08 ,  C23C16/40 ,  C30B23/08 ,  C30B29/16 ,  H01L21/20

Abstract: 本发明涉及一种带有β型氧化镓膜的基板，具有Si单晶基板和设置于上述Si单晶基板上的β型氧化镓膜，上述β型氧化镓膜呈单轴取向。

公开(公告)号：CN116235084A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202180064411.5

申请日：2021-09-03

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 安井容二 ,  前重和伸 ,  真下尚洋 ,  尾山卓司 ,  青峰信孝 ,  长岛达雄 ,  小林光吉

IPC: G02B5/22

Abstract: 本发明适当地透射远红外线并且确保外观设计性。远红外线透射构件(20)包含透射远红外线的基材(30)和形成在基材(30)上的功能膜(31)，并且所述远红外线透射构件(20)的对波长360nm～830nm的范围内的光的以1nm为增量的反射率的方差为30以下、在JIS R3106中规定的可见光反射率为25％以下、并且对波长8μm～12μm范围内的光的平均透射率为50％以上。

公开(公告)号：CN107031145B

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN201710063610.X

申请日：2017-02-03

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 前重和伸 ,  青峰信孝 ,  大川博之 ,  玉井喜芳 ,  小野田仁 ,  佐野真 ,  小林裕介

IPC: B32B17/00 ,  B32B17/06 ,  B32B33/00

Abstract: 本发明提供一种减小翘曲且耐擦伤性优良、并且低反射性、光学特性也优良的保护玻璃和玻璃层叠体。本发明涉及一种保护玻璃，其包含玻璃板和层叠在所述玻璃板的至少一个表面上的无机膜，其中，所述玻璃板的厚度为1mm以下；所述无机膜为下述层叠膜：所述层叠膜通过将包含高折射率材料的膜和包含低折射率材料的膜交替层叠6层以上而得到，所述高折射率材料的波长632nm下的折射率为1.80以上，所述低折射率材料的所述折射率小于1.80，所述包含高折射率材料的膜和所述包含低折射率材料的膜各自的单层膜的厚度为5nm～250nm，且所述层叠6层以上而得到的合计厚度为850nm～6000nm；并且所述玻璃板单独的翘曲量与层叠有所述无机膜的保护玻璃的翘曲量的翘曲变化量为30％以下。

公开(公告)号：CN115989396A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202180052579.4

申请日：2021-08-20

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 安井容二 ,  前重和伸 ,  真下尚洋 ,  尾山卓司 ,  青峰信孝 ,  洼野爱弥

IPC: G01J1/02

Abstract: 本发明适当地抑制远红外线的反射并且适当地形成减反射膜。远红外线透射构件(20)具有透射远红外线的基材(30)和功能膜(32)，所述功能膜(32)形成于基材(30)上，并且包含以氧化物作为主要成分并且对波长10μm的光的折射率为1.5以下的低折射率层(34)，低折射率层(34)以MgO作为主要成分，并且相对于低折射率层(34)的整体，MgO的含有率为50质量％以上且100质量％以下。

公开(公告)号：CN105814003B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201480067813.0

申请日：2014-12-05

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 山田朋广 ,  小高秀文 ,  青峰信孝 ,  见矢木崇平 ,  铃木贤一

IPC: C03C17/34 ,  G02B1/115

CPC classification number: C03C17/3417 ,  C03C2217/734 ,  G02B1/115

Abstract: 本发明提供一种带防反射膜玻璃，其是具备具有第一以及第二表面的玻璃基板、和配置于上述玻璃基板的第一表面的第一层叠膜的带防反射膜玻璃；其特征在于，上述第一层叠膜从靠近上述玻璃基板的第一表面的一侧起具备第一层、第二层、以及最外层，上述第二层与上述第一层邻接配置，上述最外层由掺杂有氧化锆的二氧化硅构成，在上述最外层的正下方配置有不含有二氧化硅的层。